基本信息

書名:薄膜技術與薄膜材料(材料科學與工程係列)

定價：49.00元

作者:田民波,李正操著

齣版社：清華大學齣版社

齣版日期：2011-12-01

ISBN：9787302274834

字數：

頁碼：

版次：1

裝幀：平裝

開本：16開

商品重量：0.781kg

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內容提要

薄膜及微細加工技術的應用範圍極為廣泛，從大規模集成電路、電子元器件、平闆顯示器、信息記錄與存儲、MEMS、傳感器、白光LED固體照明、太陽能電池到材料的錶麵改性等，涉及高新技術産業的各個領域。本書內容包括真空技術基礎、薄膜製備、微細加工、薄膜材料及應用等4大部分，涉及薄膜技術與薄膜材料的各個方麵，知識全麵，脈絡清晰。《薄膜技術與薄膜材料》共17章，文字通俗易懂，並配有大量圖解，每章後麵附有習題，有利於對基本概念和基礎知識的理解、掌握與運用。本書可作為材料、機械、精密儀器、化工、能源、微電子、計算機、物理、化學、光學等學科本科生及研究生教材，對於從事相關行業的科技工作者與工程技術人員，也具有極為難得的參考價值。

目錄

第1章 真空技術基礎
1.1真空的基本知識
1.2真空的錶徵
1.3氣體分子與錶麵的相互作用
習題
第2章 真空泵與真空規
2.1真空泵
2.2真空測量儀器——總壓強計
2.3真空測量儀器——分壓強計
習題
第3章 真空裝置的實際問題
3.1排氣的基礎知識
3.2材料的放氣
3.3排氣時間的估算
3.4實用的排氣係統
3.5檢漏
3.6大氣溫度與濕度對裝置的影響
3.7烘烤用的內部加熱器
3.8化學活性氣體的排氣
習題
第4章 氣體放電和低溫等離子體
4.1帶電粒子在電磁場中的運動
4.2氣體原子的電離和激發
4.3氣體放電發展過程
4.4低溫等離子體概述
4.5輝光放電
4.6弧光放電
4.7高頻放電
4.8低壓力、高密度等離子體放電
習題
第5章 薄膜生長與薄膜結構
5.1薄膜生長概述
5.2吸附、錶麵擴散與凝結
5.3薄膜的形核與生長
5.4連續薄膜的形成
5.5薄膜的生長過程與薄膜結構
5.6非晶態薄膜
5.7薄膜的基本性質
5.8薄膜的粘附力和內應力
5.9電遷移
習題
第6章 真空蒸鍍
6.1概述
6.2鍍料的蒸發
6.3蒸發源
6.4蒸發源的蒸氣發射特性與基闆配置
6.5蒸鍍裝置及操作
6.7化閤物膜的蒸鍍
6.8脈衝激光熔射(pla)
6.9分子束外延技術
習題
第7章 離子鍍和離子束沉積
7.1離子鍍原理及方式
7.2幾種典型的離子鍍方式
7.3離子束沉積
7.4離子束混閤
習題
第8章 濺射鍍膜
8.1離子濺射
8.2濺射鍍膜方式
8.3濺射鍍膜的實例
習題
第9章 化學氣相沉積(cvd)
9.1化學氣相沉積(cvd)概述
9.2熱cvd
9.3等離子體cvd(pcvd)
9.4光cvd(photocvd)
9.5有機金屬cvd(mocvd)
9.6金屬cvd
9.7半球形晶粒多晶si-cvd(hsg-cvd)
9.8鐵電體的cvd
9.9低介電常數薄膜的cvd
習題
第10章 乾法刻蝕
10.1乾法刻蝕與濕法刻蝕
10.2等離子體刻蝕——激發反應氣體刻蝕
10.3反應離子刻蝕(rie)
10.4反應離子束刻蝕(ribe)
10.5氣體離化團束(gcib)加工技術
10.6微機械加工
10.7乾法刻蝕用離子源的開發
習題
第11章 平坦化技術
11.1平坦化技術的必要性
11.2乾坦化技術概要
11.3不發生凹凸的薄膜生長
11.4沉積同時進行加工防止凹凸發生的薄膜生長
11.5薄膜生長後經再加工實現平坦化
11.6埋人技術實例
11.7化學機械研磨(cmp)技術
11.8氣體離化團束(gcib)加工平坦化
11.9大馬士革法(damascene)布綫及平坦化
11.10平坦化技術與光刻製版術
11.111c多層布綫已進展到第四代
習題
第12章 錶麵改性及超硬膜
12.1錶麵改性
12.2超硬膜用於切削刀具
習題
第13章 能量及信號變換用薄膜與器件
13.1能量變換薄膜與器件
13.2傳感器
13.3金剛石薄膜的應用
習題
第14章 半導體器件、記錄和存儲用薄膜技術與薄膜材料
14.1半導體器件
14.2記錄與存儲
習題
第15章 平闆顯示器中的薄膜技術與薄膜材料
15.1平闆顯示器
15.2液晶顯示器
15.3等離子體平闆顯示器
15.4有機電緻發光顯示器(oled)
習題
第16章 太陽電池中的薄膜技術與薄膜材料
16.1太陽電池的原理和薄膜太陽電池的優勢
16.2太陽電池和光伏發電的新進展
16.3矽係薄膜太陽電池
16.4cdte太陽電池
16.5cigs太陽電池
16.6超高效率多串結ⅲ—v族化閤物半導體太陽電池
16.7有機薄膜型太陽電池
16.8色素增感(染料敏化)太陽電池
習題
第17章 白光led固體照明與薄膜技術
17.1半導體固體發光器件的基礎——發光過程
17.2發光二極管和藍光led
17.3白光led固體照明器件
17.4激光二極管
習題
參考文獻
作者書係

作者介紹

文摘

序言