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內容簡介

　　《半導體光譜測試方法與技術》在迴顧光譜學和光譜儀器的發展過程後，對半導體中涉及的主要光學過程以及半導體材料、器件及應用研究中需要哪些光譜分析手段和方法作瞭簡要介紹，然後以分光（色散）和傅裏葉變換兩種方法為基礎討論瞭光譜分析的基本原理、測試儀器、關鍵部件、係統構成以及限製因素等，並結閤一係列測量實例對吸收譜類、光電譜類和發射譜類測量方法與技術及相關細節進行瞭詳細說明。此外，《半導體光譜測試方法與技術》還對半導體研究中涉及的一些拓展的光譜分析方法（如拉曼光譜、微區光譜、掃描成像光譜、時間分辨瞬態光譜及調製光譜等）也結閤實例進行瞭介紹。
　　《半導體光譜測試方法與技術》可供從事半導體光譜分析的研究生、研究人員及工程技術人員閱讀，也可作為其他涉及此領域人員的參考書。

內頁插圖

目錄

前言

第1章 光譜學和光譜儀器的發展概況
1．1 引言
1．2 光譜學及其發展一瞥
1．3 光譜學儀器及測量方法發展簡述
1．4 小結
參考文獻

第2章 半導體中的光學過程
2．1 引言
2．2 半導體的基本光學參數
2．2．1 摺射率和吸收係數
2．2．2 反射係數和透射係數
2．3 半導體中的光吸收
2．3．1 帶間本徵躍遷光吸收
2．3．2 其他類型光吸收
2．4 半導體的發光
2．4．1 輻射復閤與非輻射復閤
2．4．2 自發輻射與受激輻射
2．4．3 發光效率
2．5 半導體中的光散射
2．5．1 半導體中的光散射解釋
2．5．2 拉曼散射與拉曼光譜
2．5．3 布裏淵散射
2．6 小結
參考文獻

第3章 半導體研究中的光譜測試需求
3．1 引言
3．2 半導體材料研究中的光譜測試需求
3．3 半導體器件研究中的光譜測試需求
3．4 應用研究中的光譜測試需求
3．5 小結
參考文獻

第4章 分光光譜儀的組成部件及測量係統
4．1 引言
4．2 分光元件
4．2．1 棱鏡分光元件及光學材料的特性
4．2．2 光柵分光元件及其主要參數
4．2．3 其他類型的分光元件
4．3 光源
4．3．1 熱光源
4．3．2 氣體放電光源
4．3．3 同步輻射光源與自由電子激光器
4．3．4 激光光源
4．4 光電探測器
4．4．1 熱輻射型探測器
4．4．2 量子型探測器
4．4．3 陣列型探測器
4．5 電子學部件及計算機
4．6 樣品的冷卻及溫度控製裝置
4．7 基於分光光譜儀的測量係統實例
4．8 小結
參考文獻

第5章 傅裏葉變換光譜儀及其組成部件和測量係統
5．1 引言
5．2 邁剋耳孫乾涉儀與傅裏葉變換光譜儀
5．3 傅裏葉變換光譜儀的主要部件
5．3．1 分束器
5．3．2 光源
5．3．3 光電探測器
5．3．4 分束器、光源及光電探測器的組閤搭配及外光路配置
5．4 電子學部件、計算機及樣品冷卻裝置
5．5 小結
參考文獻

第6章 透射、吸收與反射光譜測量方法及實例
第7章 光電光譜測量方法及實例
第8章 發射光譜測量方法、實例及綜閤測量係統
第9章 拉曼光譜測量方法及實例
第10章 微區及掃描成像光譜測量方法及實例
第11章 時間分辨光譜測量方法及實例
第12章 調製光譜測量方法及實例
結束語
漢英對照索引
《半導體科學與技術叢書》已齣版書目
彩圖

前言/序言

半導體光譜測試方法與技術 下載 mobi epub pdf txt 電子書

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