作者:尹恩華著定價:108 齣版社:科學齣版社齣版日期:2015年07月01日頁數:336 裝幀:平裝 ISBN:9787030449672 ●前言
●高純氣體與電子學的關係
●高純氣的分類和應用
●一、引言
●二、根據半導體工藝用氣的分類
●第二節氣體純度對半導體器件（光伏、光縴……）的影響
●一、高純氣體在半導體中的具體應用分類
●二、氣體純度和雜質及其錶示方法
●三、氣體中的雜質分類
●四、大規模集成電路對氣體純度的要求
●五、氣體中雜質對半導體器件（光伏、光縴、電光源……）的影響
●參考文獻
●第二章氣體純化
●吸附與吸附劑
●一、吸附分離
●二、吸附劑的物理性質
●三、吸附劑及其他純化材料和性能
●四、氣—固錶麵吸附平衡
●五、吸附劑的具體應用
●六、分子篩的其他應用
●部分目錄

內容簡介

本書從高純氣體與集成電路等的關係說明氣體純度重要性。集成電路的製造包括成膜、刻蝕、摻雜和注入、平衡和清洗等，無不需要各種高純氣體。高純氣體的製取是本書的核心，在製取高純氣體方麵，本書介紹靠前外近期新文獻，包括：吸附、精餾、離子液體、貯氫材料、鈀擴散、熔體閤金、膜分離、吸雜劑、多級離心和製備色譜等新技術。除瞭氣相色譜是氣體分析的主體外，書中介紹近期新光譜、質譜和納米技術在高純氣體中雜質分析的應用。考慮高純氣體絕大部分都是易燃易爆和劇毒氣體，使用的安全措施尤為重要，其內容還包括：容器、介質、傳感器和廢氣的節能減排。
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