用於惡劣環境的碳化矽微機電係統 (英)張,王曉浩,唐飛,王文弢 pdf epub mobi txt 電子書 下載 2024
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英張,王曉浩,唐飛,王文弢 著
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发表于2024-11-07
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店鋪: 北京群洲文化專營店
齣版社: 科學齣版社
ISBN:9787030268624
商品編碼:29328961614
包裝:平裝
齣版時間:2010-03-01
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具體描述
基本信息
書名:用於惡劣環境的碳化矽微機電係統
定價:35.00元
作者:(英)張,王曉浩,唐飛,王文弢
齣版社:科學齣版社
齣版日期:2010-03-01
ISBN:9787030268624
字數:
頁碼:
版次:1
裝幀:平裝
開本:16開
商品重量:0.640kg
編輯推薦
內容提要
碳化矽以其優異的溫度特性、電遷移特性、機械特性等,越來越被微電子和微機電係統研究領域所關注,不斷有新的研究群體介入這一材料及其應用的研究。《用於惡劣環境的碳化矽微機電係統》是目前譯者見到的一本係統論述碳化矽微機電係統的著作,作者是來自英國、美國從事碳化矽微機電係統研究的幾位學者,他們係統綜述瞭碳化矽生長、加工、接觸、腐蝕和應用等環節的技術和現狀,匯聚瞭作者大量的經驗和智慧。
《用於惡劣環境的碳化矽微機電係統》可供從事微電子、微機械研究的科研人員參考閱讀,也可以作為研究生專業課程教材或參考書目。
目錄
作者介紹
文摘
序言
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