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內容簡介

　　《微米納米技術叢書·MEMS與微係統係列：MEMS傳感器接口ASIC集成技術》首先介紹瞭以微納米慣性器件芯片級集成為代錶的ME：MS集成傳感器的起源、技術特點、國內外的發展狀況；然後敘述瞭MEMS集成壓力傳感器，MEMS加速度計接口ASIC芯片及其集成化技術，MEMS陀螺接口ASIC芯片及其芯片級集成技術，MEMS磁傳感器、微傳聲器（麥剋風）、熱紅外傳感器等的接口ASIC芯片設計及其芯片級集成技術。《微米納米技術叢書·MEMS與微係統係列：MEMS傳感器接口ASIC集成技術》非常適閤高等院校相關專業的師生和從事MEMS集成傳感器研究的工程技術人員閱讀，同時對從事MEMS傳感器應用開發與生産的工程技術人員和管理決策者都有重要參考價值。

目錄

第1章 引言
1.1 MEMS集成傳感器
1.2 MEMS傳感器接口電路集成技術特點及發展現狀
1.2.1 主要技術特點
1.2.2 國內外發展趨勢
參考文獻

第2章 微加速度計接口ASIC集成技術
2.1 電容式加速度計接口電路
2.1.1 電容式微加速度計的工作原理
2.1.2 電容式加速度計接口電路
2.1.3 哈爾濱工業大學設計的閉環電容式加速度計接口電路
2.2 集成壓阻式加速度計接口電路
2.2.1 壓阻式加速度計的工作原理
2.2.2 壓阻式加速度計接口ASIC
2.3 集成壓電式加速度計接口電路
2.3.1 壓電式加速度計工作原理
2.3.2 壓電式加速度計接口電路
2.4 集成諧振式加速度計接口電路
2.4.1 諧振式加速度計工作原理
2.4.2 諧振式加速度計接口電路
2.5 集成熱對流武加速度計接口電路
2.5.1 熱對流加速度計的工作原理
2.5.2 熱對流加速度計接口電路
2.6 集成多軸加速度計接口電路
參考文獻

第3章 微機械陀螺接口ASIC集成技術
3.1 矽微機械陀螺
3.1.1 微機械陀螺等效電學模型
3.1.2 接口電路原理
3.1.3 PCB混閤集成電路
3.2 石英微機械陀螺接口ASIC
3.2.1 石英微機械陀螺基本原理
3.2.2 石英微機械陀螺接口電路
3.3 典型集成微陀螺産品及應用
3.3.1 ADXRS300
3.3.2 ADXRS614
參考文獻

第4章 磁傳感器接口ASIC集成技術
4.1 各嚮異性磁阻傳感器
4.1.1 各嚮異性磁阻傳感器原理
4.1.2 各嚮異性磁阻接口ASIC電路
4.2 巨磁阻傳感器
4.2.1 巨磁阻傳感器原理
4.2.2 巨磁阻傳感器接口ASIC
4.3 巨磁阻抗傳感器
4.3.1 巨磁阻抗傳感器原理
4.3.2 巨磁阻抗傳感器接口ASIC
4.4 磁通門傳感器
4.4.1 磁通門傳感器原理
4.4.2 等效電學模型
4.4.3 磁通門傳感器接口ASIC
參考文獻

第5章 MEMS壓力傳感器等接口ASIC集成技術
5.1 集成壓力傳感器
5.1.1 集成壓力傳感器分類
5.1.2 集成壓力傳感器結構及工作原理
5.1.3 壓力傳感器接口電路
5.1.4 典型集成壓力傳感器産品及應用
5.1.5 國外各大公司集成壓力傳感器部分産品一覽
5.2微（型）麥剋風
5.2.1 常見麥剋風的種類
5.2.2 MEMS微麥剋風
5.2.3 電容式麥剋風的工作原理
5.2.4 微麥剋風接口電路
5.2.5 典型産品及應用
5.3 MEMS紅外傳感器及接口電路
5.3.1 MEMS紅外傳感器工作原理
5.3.2 接口電路及單片集成
參考文獻

前言/序言

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