MEMS材料與工藝手冊 pdf epub mobi txt 電子書 下載 2024

圖書介紹


MEMS材料與工藝手冊


林斌彥 著



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发表于2024-11-08

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齣版社: 東南大學齣版社
ISBN:9787564140533
版次:1
商品編碼:11489686
包裝:平裝
開本:16開
齣版時間:2014-03-01
頁數:966

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具體描述

內容簡介

微機電係統(MEMS)技術是一個快速發展的前沿技術領域, 使用的材料種類多、工藝方法復雜, 需要係統地歸納、分析與整理, 以便於讀者查閱。本手冊是大型專業工具書, 以查閱為主。本書內容包括MEMS材料, MEMS加工工藝和製造工藝, MEMS工藝集成方法以及工業屆已經采用的工藝製造流程案例。

前言/序言


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用戶評價

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贊(≧▽≦)/。。。。。。

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挺好的

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不錯的書。。。。。。。。。

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還不錯但是一定要十個字以上就不太好瞭……

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很滿意,物流沒的說

評分

書的內容很全麵很詳細,值得學習

評分

不錯

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