齣版社： 東南大學齣版社
ISBN：9787564140533
版次：1
商品編碼：11489686
包裝：平裝
開本：16開
齣版時間：2014-03-01
頁數：966
具体描述
內容簡介
微機電係統（MEMS）技術是一個快速發展的前沿技術領域, 使用的材料種類多、工藝方法復雜, 需要係統地歸納、分析與整理, 以便於讀者查閱。本手冊是大型專業工具書, 以查閱為主。本書內容包括MEMS材料, MEMS加工工藝和製造工藝, MEMS工藝集成方法以及工業屆已經采用的工藝製造流程案例。前言/序言
用户评价
评分
mems材料工藝，科技書籍
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评分書的內容很全麵很詳細，值得學習
评分很好，字跡清晰，下次會再來！
评分真心不錯，留著肯定有用。一門技巧啊
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