基本信息

書名：微納係統技術與應用

定價：50.00元

作者：姚軍,汪為民著

齣版社：科學齣版社

齣版日期：2011-08-01

ISBN：9787030321039

字數：

頁碼：

版次：1

裝幀：平裝

開本：16開

商品重量：0.341kg

編輯推薦

微納結構由於其尺度原因，經典物理中的某些理論、定律和常規的機械加工技術、光學顯微檢測手段已不再適用。因此，現代科技有針對性地發展瞭一套係統有效的研究方法來處理這一問題。姚軍等的《微納係統技術與應用》即以此為基礎，闡述瞭微納結構與係統的原理、發展與應用。全書共7章，章介紹瞭微納係統技術的概念、研究領域、發展現狀和前景；第2章闡述瞭微光學的基本理論和典型器件；第3章介紹瞭微機電係統的材料、傳感器、執行器及幾個典型應用；第4章介紹瞭微機電係統在微光學中的典型應用——微光機電係統；第5章概括瞭一些常見的微納係統技術的微細加工技術；第6章介紹瞭納機電係統；第7章通過實例對微納係統技術的整個研發過程進行瞭分析。

內容提要

　　本書係統闡述瞭微納結構與係統的知識，主要包括微納係統的基本概念、所用材料、加工方法、在多學科交叉領域的具體應用等。另外，本書還詳細探討瞭微納係統領域內一些熱點研究方嚮的*成果，包括MEMS空間光調製器、MEMS開關、光縴傳感器、氣體傳感器等，並按照設計、加工、測試、封裝這一完整流程闡述瞭研發的方法和技巧，通過實例對各個研發環節的實踐經驗進行瞭簡明介紹，這都有助於讀者在實際工作中的參考。
　　本書可供微機械、光學工程、自動控製、先進製造等相關專業的教學、科研和工程技術人員閱讀參考，也可作為相應領域高年級本科生和研究生教材。

目錄

作者介紹

姚軍博士，研究員，博士生導師。1992年9月進入四川大學物理係學習，2001年7月獲得信息光學專業理學博士學位。2001年9月至2007年5月，先後在英國StrathclydeUniversity、Durham University和University CollegeLondon工作，研究方嚮分彆為MEMS、微光學器件設計及檢測和自適應光學。2007年6月入選中國科學院“百人計劃”，進入中國科學院光電技術研究所微細加工光學技術國傢重點實驗室工作，主要研究方嚮為MEMS和自適應光學。2010年入選四川省首批“百人計劃”。近年發錶論文60餘篇，其中，40餘篇被SCI和EI檢索，申請發明20餘項。汪為民碩士，助理研究員。2006年7月畢業於南開大學物理學院物理學基地班，獲理學學士學位，2009年7月畢業於清華大學物理係物理學專業，獲理學碩士學位，同年進入中國科學院光電技術研究所微細加工光學技術國傢重點實驗室工作至今，主要從事MEMS設計與檢測方麵的研究工作。

文摘

序言