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內容簡介

本書的主要包括超精密氣浮支承技術和精密定位工作颱電磁直接驅動的基本理論和技術；超精密氣浮支承的建模、有限元分析方法及其數值計算的理論與方法；超精密氣浮定位工作颱的動力學建模及其動態特性分析；超精密定位工作颱的定位運動分析及其控製方法研究。
本書可作為數字製造設備、精密加工設備、精密測量儀器、生物醫藥裝備等行業科研技術人員的參考書，也可作為高等院校相關專業的研究生教材。

目錄

0 緒論
0.1 超精密氣浮定位工作颱簡介
0.2 超精密定位工作颱的發展概況
0.2.1 超精密定位工作颱的發展過程
0.2.2 國外超精密定位工作颱技術的現狀
0.2.3 國內超精密定位工作颱技術的現狀
0.3 超精密定位工作颱的關鍵技術
0.3.1 定位工作颱的直綫導嚮技術
0.3.2 定位工作颱的控製技術
0.3.3 定位工作颱的驅動技術
0.3.4 定位工作颱的測量技術
0.3.5 定位工作颱的材料
0.4 本書的研究目的和主要內容
0.4.1 本書的研究目的
0.4.2 本書的主要內容
1 永磁同步直綫電動機的基本原理及其控製
1.1 永磁同步直綫電動機的結構和工作原理
1.1.1 基本結構
1.1.2 工作原理
1.2 直綫電動機的建模與分析
1.2.1 永磁同步直綫電動機的數學模型
1.2.2 永磁同步直綫電動機中的磁場
1.2.3 永磁同步直綫電動機的電磁參數
1.2.4 永磁同步直綫電動機的d-a印軸模型和推力
1.3 交流永磁同步直綫電動機的控製
1.3.1 傳統控製策略
1.3.2 現代控製策略
1.3.3 智能控製策略
1.4 本章小結
2 氣浮軸承模型及有限元分析法
2.1 靜壓氣浮支承潤滑係統概述
2.1.1 靜壓氣浮支承潤滑係統的組成
2.1.2 靜壓氣浮軸承的節流形式
2.1.3 靜壓氣浮軸承的節流原理
2.1.4 氣浮導軌的類型
2.2 氣浮軸承潤滑問題的描述
2.2.1 小孔流量節流公式
2.2.2 雷諾方程式
2.2.3 氣浮軸承潤滑問題的變分錶示法
2.3 用有限元法解氣浮軸承的靜壓潤滑問題
2.3.1 有限元的劃分與插值函數
2.3.2 氣浮軸承潤滑方程的有限元法
2.3.3 有限元的計算過程
2.4 氣浮軸承的靜壓潤滑穩定性
2.4.1 影響氣浮軸承穩定性的因素
2.4.2 提高氣浮軸承穩定性的措施
2.5 本章小結
3 氣浮軸承動力學建模與參數辨識
3.1 氣浮軸承的主要性能參數
3.1.1 氣浮軸承的靜態特性及主要參數
3.1.2 氣浮軸承的動態特性及主要參數
3.2 氣浮軸承性能參數的仿真計算與辨識
3.2.1 氣浮軸承性能參數的辨識方法
3.2.2 矩形氣浮軸承的特性及主要參數辨識
3.2.3 環形氣浮軸承的特性及主要參數辨識
3.3 氣浮軸承參數的實驗辨識方法
3.3.1 靜態測試方法
3.3.2 動態測試方法
3.4 本章小結
4 氣浮軸承動力學性能參數分析
4.1 結構形狀對性能參數的影響
4.1.1 分析方法
4.1.2 仿真模型
4.1.3 有限元計算結果與分析比較
4.1.4 結構形狀與性能參數之間的關係
4.2 結構設計對性能參數的影響
4.2.1 節流孔直徑的影響
4.2.2 節流孔高度的影響
4.2.3 壓力腔高度的影響
4.2.4 壓力腔寬度的影響
4.2.5 壓力腔長度的影響
4.2.6 結構設計參數與性能參數之間的關係
4.3 工藝參數對性能參數的影響
4.3.1 氣膜厚度的影響
4.3.2 供氣壓力的影響
4.3.3 工藝參數與性能參數之間的關係
4.4 本章小結
5 超精密氣浮定位工作颱動力學特性研究
5.1 氣浮定位工作颱的數學模型
5.1.1 氣浮定位工作颱的結構
5.1.2 氣浮定位工作颱的動力學模型
5.2 動力學參數的求解
5.3 動態特性的仿真分析
5.3.1 係統幅值的仿真計算
5.3.2 固有頻率的計算
5.3.3 外力對定位工作颱動態特性的影響
5.3.4 剛度對定位工作颱動態特性的影響
5.4 超精密氣浮定位工作颱動態參數的實驗研究
5.4.1 非氣浮狀態下的動態特性實驗結果與分析
5.4.2 氣浮狀態下的動態特性實驗結果與分析
5.4.3 基座中心至氣浮軸承中心的傳遞函數分析
5.4.4 y嚮直綫電動機的定子至動子的傳遞函數分析
5.4.5 頻率對剛度參數靈敏度的影響
5.4.6 直綫電動機係統多參數靈敏度分析與優化
5.5 本章小結
6 超精密氣浮定位工作颱定位精度研究
6.1 氣浮定位工作颱直綫運動的數學模型
6.2 混閤趨近律的滑模變結構控製模型的建立與仿真
6.2.1 滑動模態及滑模變結構控製的基本概念
6.2.2 滑模變結構控製仿真模型的建立
6.2.3 基於混閤趨近律的滑模變結構控製方法
6.2.4混閤趨近律的滑模變結構控製方法的仿真
6.3 定位工作颱輸齣位移的仿真實驗與精度分析
6.3.1 輸齣位移的仿真實驗
6.3.2 控製精度的分析
6.4 超精密氣浮定位工作颱的定位精度實驗
6.4.1 實驗係統及測量係統
6.4.2 水平直綫度的實驗結果與分析
6.4.3 垂直直綫度的實驗結果與分析
6.4.4 非氣浮狀態下的定位精度實驗結果與分析
6.4.5 氣浮狀態下的定位精度實驗結果與分析
6.5 本章小結
參考文獻

精彩書摘

0 緒論
超精密定位工作颱是超精密機械中的一種典型部件，它為微光刻技術、數控加工、生物技術、納米錶麵形貌測量等領域提供瞭一個能夠實現超精密定位和精確運動的載物平颱。隨著信息時代的到來，微細加工技術和生物技術的特徵尺寸越來越小，逐步進入亞微米級乃至納米級、亞納米級精度，超精密定位工作颱的關鍵技術如驅動技術、導嚮技術和控製技術都在逐步提高，並且隨著所需精度的提高，超精密工作颱的動力學問題顯得越來越重要。目前，國內外許多學者根據不同的研究重點開發瞭多種精密定位實驗工作颱，對超精密定位工作颱的關鍵技術開展瞭相關的研究，推動瞭超精密定位工作颱技術的發展和進步。
0.1 超精密氣浮定位工作颱簡介
微光刻技術、數控加工、生物技術等領域的迅速發展，對精密定位工作颱的精度、運行速度、行程、自動化程度和可靠性等提齣瞭更高的要求。這些要求並非是孤立的，其中一些要求往往是相互聯係和相互製約的。例如：定位工作颱的高速度和高精度要求是相互矛盾的，為瞭滿足高精度的要求，定位工作颱的最小運動量（或位移分辨率）要越小越好，而在伺服係統調速比有限的情況下，定位工作颱的速度又不能隨意地提高；長行程和高精度的要求也是矛盾的，行程越長，意味著在同樣精度要求規定位工作颱中的導軌直綫度誤差就越敏感，對零部件的加工和安裝精度要求也更勾苛刻，即定位工作颱的行程受到現有加工和安裝精度的限製；自動化程度與可靠性也是一對矛盾，自動化程度越高，係統越復雜，實現高的可靠性就越Ⅲ難，間時，高精度、高速度、長行程對控製係統的實現也提齣瞭挑戰。而在這眾多的矛盾中，最突齣的是如何消除精密定位工作颱運動部件間的摩擦。解決這一矛盾的有效方法之一就是采用氣浮技術，因而也就齣現瞭基於氣浮支承和直綫電動機驅動技術的超精密、長行程氣浮定位工作颱。

前言/序言

超精密氣浮定位工作颱技術：氣浮係統動力學與控製 下載 mobi epub pdf txt 電子書

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讀書是一種樂趣,一種情操,一種嚮往世界古往今來的為人和名人求救的方法,一種和他們展來討論的方式,一封齣席各種社會活動體驗各種生活,結識各種人物的邀請信.一張邁進科學殿堂和未來世界的入場券,一股豐富自己的強大力量.這個名言是我們最著名的作傢王梓坤寫的.他讓懂得瞭什麼是讀書。小的時候，我隻喜歡愛看小人書，漫畫，因為他們都很好笑，有著迷人的魅力，漸漸地，漸漸地我就開始畫漫畫瞭，但是結果還是讓老師收走，被爸爸媽媽撕掉，還要打。唉-------真倒黴！初高中，就從喜歡武俠小說，梁羽生、金庸、古龍等等，特彆是金庸的小說，本本都看瞭有些還看瞭好多遍，收益匪淺。長得之後，我什麼類型的書都看，隻要是我喜歡的。特彆是陳學東，等著的超精密氣浮定位工作颱技術氣浮係統動力學與控製很值得看，看瞭收益很大，書的內容直得一讀，閱讀瞭一下，寫得很好，本書的主要包括超精密氣浮支承技術和精密定位工作颱電磁直接驅動的基本理論和技術超精密氣浮支承的建模、有限元分析方法及其數值計算的理論與方法超精密氣浮定位工作颱的動力學建模及其動態特性分析超精密定位工作颱的定位運動分析及其控製方法研究。本書可作為數字製造設備、精密加工設備、精密測量儀器、生物醫藥裝備等行業科研技術人員的參考書，也可作為高等院校相關專業的研究生教材。，內容也很豐富。，一本書多讀幾次，0緒論超精密定位工作颱是超精密機械中的一種典型部件，它為微光刻技術、數控加工、生物技術、納米錶麵形貌測量等領域提供瞭一個能夠實現超精密定位和精確運動的載物平颱。隨著信息時代的到來，微細加工技術和生物技術的特徵尺寸越來越小，逐步進入亞微米級乃至納米級、亞納米級精度，超精密定位工作颱的關鍵技術如驅動技術、導嚮技術和控製技術都在逐步提高，並且隨著所需精度的提高，超精密工作颱的動力學問題顯得越來越重要。目前，國內外許多學者根據不同的研究重點開發瞭多種精密定位實驗工作颱，對超精密定位工作颱的關鍵技術開展瞭相關的研究，推動瞭超精密定位工作颱技術的發展和進步。0.1超精密氣浮定位工作颱簡介微光刻技術、數控加工、生物技術等領域的迅速發展，對精密定位工作颱的精度、運行速度、行程、自動化程度和可靠性等提齣瞭更高的要求。這些要求並非是孤立的，其中一些要求往往是相互聯係和相互製約的。例如定位工作颱的高速度和高精度要求是相互矛盾的，為瞭滿足高精度的要求，定位工作颱的最小運動量（或位移分辨率）要越小越好，而在伺服係統調速比有限的情況下，定位工作颱的速度又不能隨意地提高長行程和高精度的要求也是矛盾的，行程越長，意味著在同樣精度要求規定位工作颱中的導軌直綫度誤差就越敏感，對零部件的加工和安裝精

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