超精密氣浮定位工作颱技術：氣浮係統動力學與控製 pdf epub mobi txt 电子书 下载 2025

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陳學東 等 著

圖書標籤:

• 氣浮定位工作颱
• 超精密製造
• 氣浮係統
• 動力學
• 控製
• 機械工程
• 精密儀器
• 振動控製
• 定位技術
• 微納米定位

出版社： 华中科技大学出版社

ISBN：9787560946108

版次：1

商品编码：10343566

包装：平装

开本：大32开

出版时间：2008-01-01

用纸：胶版纸

页数：223

字数：180000

內容簡介

本書的主要包括超精密氣浮支承技術和精密定位工作颱電磁直接驅動的基本理論和技術；超精密氣浮支承的建模、有限元分析方法及其數值計算的理論與方法；超精密氣浮定位工作颱的動力學建模及其動態特性分析；超精密定位工作颱的定位運動分析及其控製方法研究。
本書可作為數字製造設備、精密加工設備、精密測量儀器、生物醫藥裝備等行業科研技術人員的參考書，也可作為高等院校相關專業的研究生教材。

目錄

0 緒論
0.1 超精密氣浮定位工作颱簡介
0.2 超精密定位工作颱的發展概況
0.2.1 超精密定位工作颱的發展過程
0.2.2 國外超精密定位工作颱技術的現狀
0.2.3 國內超精密定位工作颱技術的現狀
0.3 超精密定位工作颱的關鍵技術
0.3.1 定位工作颱的直綫導嚮技術
0.3.2 定位工作颱的控製技術
0.3.3 定位工作颱的驅動技術
0.3.4 定位工作颱的測量技術
0.3.5 定位工作颱的材料
0.4 本書的研究目的和主要內容
0.4.1 本書的研究目的
0.4.2 本書的主要內容
1 永磁同步直綫電動機的基本原理及其控製
1.1 永磁同步直綫電動機的結構和工作原理
1.1.1 基本結構
1.1.2 工作原理
1.2 直綫電動機的建模與分析
1.2.1 永磁同步直綫電動機的數學模型
1.2.2 永磁同步直綫電動機中的磁場
1.2.3 永磁同步直綫電動機的電磁參數
1.2.4 永磁同步直綫電動機的d-a印軸模型和推力
1.3 交流永磁同步直綫電動機的控製
1.3.1 傳統控製策略
1.3.2 現代控製策略
1.3.3 智能控製策略
1.4 本章小結
2 氣浮軸承模型及有限元分析法
2.1 靜壓氣浮支承潤滑係統概述
2.1.1 靜壓氣浮支承潤滑係統的組成
2.1.2 靜壓氣浮軸承的節流形式
2.1.3 靜壓氣浮軸承的節流原理
2.1.4 氣浮導軌的類型
2.2 氣浮軸承潤滑問題的描述
2.2.1 小孔流量節流公式
2.2.2 雷諾方程式
2.2.3 氣浮軸承潤滑問題的變分錶示法
2.3 用有限元法解氣浮軸承的靜壓潤滑問題
2.3.1 有限元的劃分與插值函數
2.3.2 氣浮軸承潤滑方程的有限元法
2.3.3 有限元的計算過程
2.4 氣浮軸承的靜壓潤滑穩定性
2.4.1 影響氣浮軸承穩定性的因素
2.4.2 提高氣浮軸承穩定性的措施
2.5 本章小結
3 氣浮軸承動力學建模與參數辨識
3.1 氣浮軸承的主要性能參數
3.1.1 氣浮軸承的靜態特性及主要參數
3.1.2 氣浮軸承的動態特性及主要參數
3.2 氣浮軸承性能參數的仿真計算與辨識
3.2.1 氣浮軸承性能參數的辨識方法
3.2.2 矩形氣浮軸承的特性及主要參數辨識
3.2.3 環形氣浮軸承的特性及主要參數辨識
3.3 氣浮軸承參數的實驗辨識方法
3.3.1 靜態測試方法
3.3.2 動態測試方法
3.4 本章小結
4 氣浮軸承動力學性能參數分析
4.1 結構形狀對性能參數的影響
4.1.1 分析方法
4.1.2 仿真模型
4.1.3 有限元計算結果與分析比較
4.1.4 結構形狀與性能參數之間的關係
4.2 結構設計對性能參數的影響
4.2.1 節流孔直徑的影響
4.2.2 節流孔高度的影響
4.2.3 壓力腔高度的影響
4.2.4 壓力腔寬度的影響
4.2.5 壓力腔長度的影響
4.2.6 結構設計參數與性能參數之間的關係
4.3 工藝參數對性能參數的影響
4.3.1 氣膜厚度的影響
4.3.2 供氣壓力的影響
4.3.3 工藝參數與性能參數之間的關係
4.4 本章小結
5 超精密氣浮定位工作颱動力學特性研究
5.1 氣浮定位工作颱的數學模型
5.1.1 氣浮定位工作颱的結構
5.1.2 氣浮定位工作颱的動力學模型
5.2 動力學參數的求解
5.3 動態特性的仿真分析
5.3.1 係統幅值的仿真計算
5.3.2 固有頻率的計算
5.3.3 外力對定位工作颱動態特性的影響
5.3.4 剛度對定位工作颱動態特性的影響
5.4 超精密氣浮定位工作颱動態參數的實驗研究
5.4.1 非氣浮狀態下的動態特性實驗結果與分析
5.4.2 氣浮狀態下的動態特性實驗結果與分析
5.4.3 基座中心至氣浮軸承中心的傳遞函數分析
5.4.4 y嚮直綫電動機的定子至動子的傳遞函數分析
5.4.5 頻率對剛度參數靈敏度的影響
5.4.6 直綫電動機係統多參數靈敏度分析與優化
5.5 本章小結
6 超精密氣浮定位工作颱定位精度研究
6.1 氣浮定位工作颱直綫運動的數學模型
6.2 混閤趨近律的滑模變結構控製模型的建立與仿真
6.2.1 滑動模態及滑模變結構控製的基本概念
6.2.2 滑模變結構控製仿真模型的建立
6.2.3 基於混閤趨近律的滑模變結構控製方法
6.2.4混閤趨近律的滑模變結構控製方法的仿真
6.3 定位工作颱輸齣位移的仿真實驗與精度分析
6.3.1 輸齣位移的仿真實驗
6.3.2 控製精度的分析
6.4 超精密氣浮定位工作颱的定位精度實驗
6.4.1 實驗係統及測量係統
6.4.2 水平直綫度的實驗結果與分析
6.4.3 垂直直綫度的實驗結果與分析
6.4.4 非氣浮狀態下的定位精度實驗結果與分析
6.4.5 氣浮狀態下的定位精度實驗結果與分析
6.5 本章小結
參考文獻

精彩書摘

0 緒論
超精密定位工作颱是超精密機械中的一種典型部件，它為微光刻技術、數控加工、生物技術、納米錶麵形貌測量等領域提供瞭一個能夠實現超精密定位和精確運動的載物平颱。隨著信息時代的到來，微細加工技術和生物技術的特徵尺寸越來越小，逐步進入亞微米級乃至納米級、亞納米級精度，超精密定位工作颱的關鍵技術如驅動技術、導嚮技術和控製技術都在逐步提高，並且隨著所需精度的提高，超精密工作颱的動力學問題顯得越來越重要。目前，國內外許多學者根據不同的研究重點開發瞭多種精密定位實驗工作颱，對超精密定位工作颱的關鍵技術開展瞭相關的研究，推動瞭超精密定位工作颱技術的發展和進步。
0.1 超精密氣浮定位工作颱簡介
微光刻技術、數控加工、生物技術等領域的迅速發展，對精密定位工作颱的精度、運行速度、行程、自動化程度和可靠性等提齣瞭更高的要求。這些要求並非是孤立的，其中一些要求往往是相互聯係和相互製約的。例如：定位工作颱的高速度和高精度要求是相互矛盾的，為瞭滿足高精度的要求，定位工作颱的最小運動量（或位移分辨率）要越小越好，而在伺服係統調速比有限的情況下，定位工作颱的速度又不能隨意地提高；長行程和高精度的要求也是矛盾的，行程越長，意味著在同樣精度要求規定位工作颱中的導軌直綫度誤差就越敏感，對零部件的加工和安裝精度要求也更勾苛刻，即定位工作颱的行程受到現有加工和安裝精度的限製；自動化程度與可靠性也是一對矛盾，自動化程度越高，係統越復雜，實現高的可靠性就越Ⅲ難，間時，高精度、高速度、長行程對控製係統的實現也提齣瞭挑戰。而在這眾多的矛盾中，最突齣的是如何消除精密定位工作颱運動部件間的摩擦。解決這一矛盾的有效方法之一就是采用氣浮技術，因而也就齣現瞭基於氣浮支承和直綫電動機驅動技術的超精密、長行程氣浮定位工作颱。

前言/序言

超精密氣浮定位工作颱技術：氣浮係統動力學與控製 一、 引言：超越傳統，邁嚮極緻精度 在現代精密製造、科學實驗以及尖端科技領域，對定位精度的要求已達到前所未有的高度。從半導體芯片的製造、高能物理實驗中的粒子束控製，到光學精密儀器的組裝校準，乃至航天器部件的精密加工，任何微小的誤差都可能導緻整個係統的失敗。傳統的機械接觸式定位係統，由於摩擦、磨損、熱膨脹等固有缺陷，在達到納米乃至亞納米級定位精度時，其性能瓶頸愈發凸顯。 正是在這樣的時代背景下，氣浮技術應運而生，並迅速發展成為實現超精密定位的顛覆性解決方案。氣浮定位工作颱，通過在運動部件與固定基座之間形成一層薄而穩定的氣膜，實現瞭運動部件與空氣的“非接觸”運動。這不僅消除瞭摩擦和磨損，更重要的是，它能夠極大地降低動態和靜態的誤差源，從而為實現極高的定位精度提供瞭可能。 本書《超精密氣浮定位工作颱技術：氣浮係統動力學與控製》深入探索瞭氣浮定位工作颱這一關鍵技術的核心原理、關鍵技術以及未來發展方嚮。它並非僅僅是對現有技術的簡單羅列，而是聚焦於氣浮係統 動力學 和 控製 這兩大核心要素，旨在為讀者構建一個全麵、深入且具有前瞻性的知識體係。通過對氣浮係統內在動力學特性的深刻理解，以及在此基礎上發展齣的先進控製策略，本書旨在揭示如何突破現有技術的局限，實現真正意義上的超精密運動。 二、 氣浮係統的物理根基：流體力學與彈性耦閤的精妙平衡 氣浮係統的核心在於利用壓縮空氣在其運動部件（通常稱為“浮子”）和靜止基座（通常稱為“導軌”或“基盤”）之間形成一層壓力梯度。這層氣膜的形成和維持，是流體力學原理在微觀尺度下的精彩體現。 1. 氣膜壓力場的生成與分布： 當壓縮空氣被引入氣浮支承結構（如氣浮軸承、氣浮導軌）時，會在浮子和基座之間被壓縮並形成高壓氣膜。氣膜的壓力分布並非均勻，而是隨著氣體的流動和邊界條件的改變而變化。納維-斯托剋斯方程（Navier-Stokes equations）是描述氣膜內流體運動和壓力分布的基本方程。在氣浮係統中，通常會簡化這些方程，例如在低速或特定幾何條件下，會采用雷諾方程（Reynolds equation）來描述氣膜壓力。雷諾方程考慮瞭氣體的粘性、可壓縮性以及運動部件的相對運動，能夠預測不同結構類型（如平麵支承、圓柱支承）下的氣膜壓力分布。 2. 浮子的動力學行為： 浮子在氣膜支撐下的運動，是一個復雜的動力學過程。當外界擾動力（如衝擊、振動、負載變化）作用於浮子時，氣膜的壓力會迅速調整以抵抗這些擾動。這種自適應性是氣浮係統能夠實現高穩定性和高精度的關鍵。浮子的動力學模型需要考慮其質量、慣性、阻尼以及氣膜提供的彈性支撐力。 彈性支撐： 氣膜提供的支撐力可以被等效為一個非綫性彈性元件，其剛度與氣膜厚度、氣體壓力、支承麵積以及結構設計密切相關。例如，通過改變氣孔的孔徑、孔數、孔的分布以及氣腔的尺寸，可以調整氣浮係統的靜剛度和動剛度。 阻尼特性： 氣膜的流動本身也帶來一定的阻尼作用，能夠吸收和耗散能量，抑製振動。這種阻尼特性與氣體的粘性、氣膜厚度以及相對速度有關。精確理解和量化氣膜的阻尼特性，對於設計具有良好動態響應的定位工作颱至關重要。 3. 結構彈性體的耦閤效應： 在超精密應用中，工作颱的整體結構也扮演著重要角色。材料的彈性形變、結構的振動模態以及熱膨脹效應都可能引入誤差。氣浮係統的動力學行為與其所安裝的結構基座的動力學特性是相互耦閤的。一個剛性不足的基座可能會放大由氣浮係統引入的微小擾動，而一個設計良好的結構則能提供穩定的平颱，使氣浮係統的優勢得到充分發揮。本書將深入分析材料選擇、結構設計對於整體係統剛度和振動特性的影響，以及如何通過結構優化來最小化因結構彈性體引起的定位誤差。 三、 精準控製的藝術：從模型到反饋的智慧 僅有穩定的氣膜支撐是不夠的，實現精確的定位需要一套先進的控製係統來引導和校正浮子的運動。氣浮係統的控製是一個融閤瞭精密測量、先進控製理論與實時計算的復雜工程。 1. 高精度位移傳感技術： 為瞭實現精確控製，必須能夠實時、高精度地測量浮子的位置和姿態。本書將探討多種先進的位移傳感技術，包括： 電容式位移傳感器： 利用電容值隨距離變化的原理，能夠實現納米級的測量精度。 電感式位移傳感器： 同樣具有高精度和良好的穩定性。 激光乾涉儀： 能夠實現亞納米級的測量精度，是實現最高精度定位的標準。 光學編碼器： 在某些應用中，也能提供高精度的角度或直綫位移信息。 視覺測量係統： 對於復雜目標的定位，視覺係統也提供瞭靈活的解決方案。 傳感器的選型、布置以及標定，直接影響到控製係統的性能。本書將詳細介紹各種傳感器的原理、優缺點以及在氣浮定位工作颱中的應用考量。 2. 模型預測控製（MPC）與自適應控製： 傳統的PID控製在處理氣浮係統的高度非綫性、時變以及耦閤特性時，往往顯得力不從心。因此，本書將重點介紹更先進的控製策略： 模型預測控製（MPC）： MPC是一種先進的控製方法，它利用係統的動態模型來預測未來一段時間內的係統行為，並在預測範圍內優化控製輸入，以達到預期的性能目標（如最小化誤差、最小化能量消耗）。對於氣浮係統，MPC能夠有效地處理其非綫性特性，預測氣膜壓力的變化，並提前調整控製指令，以實現更平滑、更精確的運動。 自適應控製： 氣浮係統的性能會受到環境溫度、負載變化、氣體壓力波動等因素的影響，這些因素可能導緻係統參數發生變化。自適應控製策略能夠實時地監測係統性能，並根據係統參數的變化自動調整控製器參數，以保證係統在各種工況下都能保持最優的控製效果。 滑模控製： 對於具有外部擾動和參數不確定性的係統，滑模控製能夠提供魯棒的控製性能。其原理是通過設計一個“滑模麵”，迫使係統的狀態軌跡趨嚮並保持在該滑模麵上，從而實現對擾動的抑製。 模糊邏輯控製和神經網絡控製： 這些基於人工智能的控製方法，能夠處理復雜的、難以精確建模的係統，並從中學習最優的控製策略。 3. 多自由度耦閤控製與解耦： 氣浮定位工作颱通常具有多個自由度的運動，例如X、Y、Z軸的平移以及繞X、Y、Z軸的轉動。這些自由度的運動是相互耦閤的，一個方嚮上的運動可能會影響其他方嚮。實現精確的多自由度定位，需要有效的耦閤控製策略。本書將探討如何通過設計控製算法，實現對各個自由度的有效控製，並在此基礎上發展齣解耦控製技術，使得對某一自由度的控製不會對其他自由度産生不利影響，從而實現獨立的、高精度的多軸聯動。 4. 乾擾抑製與魯棒性設計： 在實際應用中，氣浮定位工作颱會麵臨各種外部乾擾，如環境振動、空氣流動、機械衝擊等。控製係統需要具備強大的乾擾抑製能力。本書將深入研究魯棒控製理論，以及如何在控製器設計中充分考慮這些乾擾因素，確保工作颱在復雜環境中依然能夠保持高精度和高穩定性。 四、 核心技術專題：創新驅動，技術突破 本書不僅關注理論，更緻力於揭示實現超精密氣浮定位工作颱所需的關鍵技術創新。 1. 新型氣浮支承結構設計： 傳統的平闆式、柱塞式氣浮支承已經逐漸發展齣更多創新的結構形式。例如： 柔性氣浮支承： 通過引入柔性材料，結閤氣浮原理，能夠進一步提高係統的柔順性和對錶麵不平整的適應性，從而實現更高的定位精度。 動態可調氣膜支承： 通過主動控製氣孔的節流或閥門的開關，實時調整氣膜壓力和剛度，以適應不同的負載和運動需求。 微納尺度氣浮技術： 隨著微納加工技術的發展，將氣浮技術應用於微型化、集成化的係統中，為微納製造和測量開闢新的道路。 混閤支撐技術： 將氣浮技術與其他支撐技術（如磁懸浮）相結閤，發揮各自優勢，實現更寬範圍的性能提升。 2. 超精密傳動與驅動技術： 即使有瞭先進的氣浮係統，也需要與之匹配的超精密傳動和驅動技術來引導運動。 壓電陶瓷驅動器： 能夠實現納米級的微位移和高剛度，是實現高精度定位的理想驅動源。 直綫電機： 具有無接觸、高精度、高速度的特點，能夠直接驅動工作颱進行直綫運動。 精密齒輪傳動與諧波減速器： 在某些應用中，仍然需要高精度的機械傳動裝置，本書將探討如何優化這些傳動裝置以減小傳動誤差。 精密絲杠副： 經過精密加工的絲杠副，也能實現較高的定位精度。 3. 集成化與智能化設計： 未來的氣浮定位工作颱將更加強調集成化和智能化。 傳感器與執行器的集成： 將高精度傳感器和微型驅動器集成到氣浮結構中，實現更緊湊、更高效的係統。 智能診斷與自修復： 通過嵌入式智能係統，對工作颱的運行狀態進行實時監測，預測潛在故障，並實現一定程度的自診斷和自修復。 人機交互與遠程控製： 更加友好的用戶界麵和強大的遠程控製能力，方便用戶操作和管理。 4. 材料科學與製造工藝的革新： 超精密氣浮定位工作颱的性能，離不開先進的材料和製造工藝。 低熱膨脹係數材料： 如超因瓦閤金、零膨脹玻璃等，用於製造工作颱基座和浮子，以減小熱誤差。 高剛性、低阻尼材料： 用於製造結構部件，以提高係統的剛度和降低內部振動。 微納加工技術： 如光刻、蝕刻、精密車削、磨削等，是實現復雜氣浮結構和高精度錶麵加工的關鍵。 五、 應用領域展望：賦能未來科技 《超精密氣浮定位工作颱技術：氣浮係統動力學與控製》所涵蓋的技術，將有力推動諸多前沿科技的發展。 半導體製造： 在光刻機、晶圓加工設備中，納米級甚至亞納米級的定位精度是實現高密度集成電路製造的關鍵。 精密光學與計量： 高精度光學元件的加工、組裝和檢測，需要極其穩定的平颱來支撐。 生物技術與生命科學： 在基因測序、細胞操控、顯微成像等領域，微觀尺度的精確運動至關重要。 空間科學與天文觀測： 望遠鏡的指嚮精度、衛星載荷的精確部署，都離不開超精密定位技術。 基礎科學研究： 如高能物理實驗、精密測量儀器等，為探索未知世界提供精確的工具。 先進製造： 如3D打印、精密焊接、微納機器人等，都需要高精度的定位和運動控製。 六、 結語：精益求精，永無止境 本書旨在為從事超精密工程、機械工程、自動化控製、航空航天、精密儀器等領域的科研人員、工程師和學生提供一個全麵、深入的學習平颱。我們相信，通過對氣浮係統動力學和控製原理的深刻理解，以及對相關核心技術的掌握，讀者能夠站在巨人的肩膀上，不斷探索和創新，為實現更高水平的精密製造和科學研究貢獻力量。超精密的世界，挑戰與機遇並存，精益求精，方能觸及無限可能。

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初步翻閱這本書，我立刻被它所呈現齣的知識深度和技術廣度所震撼。雖然我尚未能完全消化其中的每一個公式和模型，但它所構建的關於超精密氣浮定位工作颱的理論框架，卻如同建立起一座宏偉的知識殿堂。從對氣浮係統基本原理的深入剖析，到其在不同工況下的動力學行為的精細刻畫，再到先進控製策略的設計與實現，這本書無疑為我提供瞭一個係統性的學習路徑。我特彆關注瞭書中對氣浮係統穩定性分析的部分，其中涉及到的各種數學工具和物理概念，著實讓我領略到瞭工程科學的嚴謹與魅力。而控製理論的應用，更是將理論研究推嚮瞭實踐的頂峰，如何通過智能的算法和精密的反饋機製，來駕馭如此敏感且要求嚴苛的係統，這其中的智慧閃光點，讓人嘆為觀止。這本書並沒有迴避技術上的難點，反而以一種挑戰者的姿態，逐一攻剋，讓我看到瞭作者在這一領域深厚的積纍和非凡的洞察力。對於渴望瞭解精密機械與自動化前沿的工程師和研究者來說，這絕對是一部不可或缺的參考著作，它不僅能提供寶貴的理論知識，更能啓發解決實際工程問題的思路。

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這本書在我手中，仿佛是一本通往未來製造的“秘籍”。“超精密”這個詞匯本身就帶著一種神秘感和吸引力，它暗示著這本書將帶領讀者進入一個前所未有的微觀世界，去探索那些對精度有著極緻要求的科技前沿。我尤其對“氣浮係統”的動力學描述部分感到好奇。我知道氣浮技術能夠實現幾乎零摩擦的運動，但如何在如此精密的設備上實現精準的定位和控製，這其中的學問一定非常深奧。這本書是否能夠解釋清楚，氣浮係統在不同工作狀態下的穩定性是如何保證的？是否存在一些特殊的結構設計或者工作原理，能夠讓它在微小的擾動下依然保持穩定？而“控製”部分，更是讓我充滿瞭期待。我明白，要實現“超精密”的定位，僅僅有良好的物理基礎是不夠的，還需要一套精妙絕倫的控製係統來“駕馭”它。我非常想知道，書中是如何講解如何設計和實現這些控製策略的，例如，是否涉及到一些高級的反饋控製理論，或者是如何利用人工智能等新技術來優化控製效果。這本書是否能夠讓我這個對精密機械和自動化充滿好奇的讀者，也能領略到這項技術的精髓？

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拿到這本書，首先映入眼簾的是其紮實的研究基礎。書中的內容並非泛泛而談，而是建立在嚴謹的科學理論之上，通過對氣浮係統動力學特性的深入挖掘，揭示瞭其內在的運動規律和影響因素。我注意到書中使用瞭大量的數學模型和仿真分析，這錶明作者對這一技術的研究是具有前瞻性和科學性的。從流體力學的基本原理齣發，到空氣動力學在氣浮係統中的具體應用，再到如何通過精確的動力學建模來預測和描述係統的響應，每一步都顯得邏輯嚴謹，層層遞進。我尤其對書中關於提高定位精度的探討感到興趣，書中是否提齣瞭一些創新性的解決方案，能夠剋服傳統氣浮係統在動態響應和抗乾擾能力方麵的不足？這是否意味著我們可以期待更穩定、更可靠的超精密定位平颱？此外，控製部分的內容也令人期待，在如此高精度的係統中，微小的擾動都可能導緻嚴重的定位誤差，因此，先進的控製技術對於保證係統的性能至關重要。我希望書中能夠提供一些關於魯棒控製、自適應控製或者其他先進控製方法的應用案例，來展示如何有效地解決這些挑戰。

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這本書的封麵設計就透露著一種嚴謹而專業的味道，深邃的藍色背景搭配著銀色的立體字，仿佛預示著書中將要探索的技術是多麼精妙和尖端。雖然我還沒有來得及深入閱讀，但光是書名“超精密氣浮定位工作颱技術：氣浮係統動力學與控製”就足以讓我産生無限的好奇。我一直對精密製造和自動化領域懷有濃厚的興趣，而“超精密”這三個字更是直接擊中瞭我的興奮點。想象一下，能夠將物體以如此高的精度進行定位，這背後究竟蘊含著怎樣的科學原理和工程智慧？特彆是“氣浮係統”這個詞，它勾勒齣一種無接觸、低摩擦的工作模式，這對於追求極緻性能的設備來說，無疑是理想的解決方案。而“動力學與控製”則指嚮瞭實現這種精密定位的關鍵技術，如何讓氣浮係統在動態環境下依然保持穩定和精確，這其中的挑戰想必不小。這本書給我的第一印象是，它不僅僅是一本介紹技術的工具書，更像是一扇通往高科技製造前沿的窗口，讓我有機會一窺那些支撐著現代工業發展、甚至改變我們生活方式的幕後英雄。我迫不及待地想知道，作者是如何將如此復雜的技術，用清晰易懂的語言呈現給讀者的，尤其是對於我這樣非專業背景但充滿求知欲的讀者來說，這本書是否能真正點亮我心中的迷霧，讓我理解這項技術的奧秘，這本身就是一個令人期待的旅程。

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從書名來看，這本書就透露齣一種非常“硬核”的技術範疇，充滿瞭科學的嚴謹性和工程的實用性。“超精密氣浮定位工作颱”這個概念本身就足夠吸引人，它代錶瞭當今製造業在精度控製方麵所能達到的最高水平。我一直對那些能夠實現微米甚至納米級彆定位的設備感到驚嘆，而氣浮技術無疑是實現這一目標的關鍵技術之一。我特彆好奇書中是如何闡述氣浮係統的“動力學”的。是僅僅停留在理論層麵，還是有深入的數學建模和仿真分析？它是否會解釋清楚，氣浮係統中空氣流動的復雜性如何影響其運動特性？而“控製”部分，更是這本書的靈魂所在。我預想，這本書會詳細介紹各種先進的控製算法，以及如何將這些算法應用於氣浮定位工作颱中，以達到更高的精度和穩定性。例如，書中是否會討論如何處理外部乾擾、如何實現快速的動態響應，以及如何確保係統的長期可靠性？對於想要深入瞭解精密儀器製造、半導體設備、光學加工等領域的技術人員來說，這本書無疑提供瞭一個寶貴的學習平颱，能夠幫助他們掌握這項關鍵技術的核心知識。

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读书是一种乐趣,一种情操,一种向往世界古往今来的为人和名人求救的方法,一种和他们展来讨论的方式,一封出席各种社会活动体验各种生活,结识各种人物的邀请信.一张迈进科学殿堂和未来世界的入场券,一股丰富自己的强大力量.这个名言是我们最著名的作家王梓坤写的.他让懂得了什么是读书。小的时候，我只喜欢爱看小人书，漫画，因为他们都很好笑，有着迷人的魅力，渐渐地，渐渐地我就开始画漫画了，但是结果还是让老师收走，被爸爸妈妈撕掉，还要打。唉-------真倒霉！初高中，就从喜欢武侠小说，梁羽生、金庸、古龙等等，特别是金庸的小说，本本都看了有些还看了好多遍，收益匪浅。长得之后，我什么类型的书都看，只要是我喜欢的。特别是陈学东，等著的超精密气浮定位工作台技术气浮系统动力学与控制很值得看，看了收益很大，书的内容直得一读，阅读了一下，写得很好，本书的主要包括超精密气浮支承技术和精密定位工作台电磁直接驱动的基本理论和技术超精密气浮支承的建模、有限元分析方法及其数值计算的理论与方法超精密气浮定位工作台的动力学建模及其动态特性分析超精密定位工作台的定位运动分析及其控制方法研究。本书可作为数字制造设备、精密加工设备、精密测量仪器、生物医药装备等行业科研技术人员的参考书，也可作为高等院校相关专业的研究生教材。，内容也很丰富。，一本书多读几次，0绪论超精密定位工作台是超精密机械中的一种典型部件，它为微光刻技术、数控加工、生物技术、纳米表面形貌测量等领域提供了一个能够实现超精密定位和精确运动的载物平台。随着信息时代的到来，微细加工技术和生物技术的特征尺寸越来越小，逐步进入亚微米级乃至纳米级、亚纳米级精度，超精密定位工作台的关键技术如驱动技术、导向技术和控制技术都在逐步提高，并且随着所需精度的提高，超精密工作台的动力学问题显得越来越重要。目前，国内外许多学者根据不同的研究重点开发了多种精密定位实验工作台，对超精密定位工作台的关键技术开展了相关的研究，推动了超精密定位工作台技术的发展和进步。0.1超精密气浮定位工作台简介微光刻技术、数控加工、生物技术等领域的迅速发展，对精密定位工作台的精度、运行速度、行程、自动化程度和可靠性等提出了更高的要求。这些要求并非是孤立的，其中一些要求往往是相互联系和相互制约的。例如定位工作台的高速度和高精度要求是相互矛盾的，为了满足高精度的要求，定位工作台的最小运动量（或位移分辨率）要越小越好，而在伺服系统调速比有限的情况下，定位工作台的速度又不能随意地提高长行程和高精度的要求也是矛盾的，行程越长，意味着在同样精度要求规定位工作台中的导轨直线度误差就越敏感，对零部件的加工和安装精

评分☆☆☆☆☆

学电子学的看这本书不太适合

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还行吧，这个学者比较牛！

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"[SM]和描述的一样，好评！ 上周周六，闲来无事，上午上了一个上午网，想起好久没买书了，似乎我买书有点上瘾，一段时间不逛书店就周身不爽，难道男人逛书店就象女人逛商场似的上瘾？于是下楼吃了碗面，这段时间非常冷，还下这雨，到书店主要目的是买一大堆书，上次专程去买却被告知缺货，这次应该可以买到了吧。可是到一楼的查询处问，小姐却说昨天刚到的一批又卖完了！晕！为什么不多进点货，于是上京东挑选书。好了，废话不说。好了，我现在来说说这本书的观感吧，一个人重要的是找到自己的腔调，不论说话还是写字。腔调一旦确立，就好比打架有了块趁手的板砖，怎么使怎么顺手，怎么拍怎么有劲，顺带着身体姿态也挥洒自如，打架简直成了舞蹈，兼有了美感和韵味。要论到写字，腔调甚至先于主题，它是一个人特有的形式，或者工具；不这么说，不这么写，就会别扭；工欲善其事，必先利其器，腔调有时候就是“器”，有时候又是“事”，对一篇文章或者一本书来说，器就是事，事就是器。这本书，的确是用他特有的腔调表达了对“腔调”本身的赞美。|发货真是出乎意料的快，昨天下午订的货，第二天一早就收到了，赞一个，书质量很好，正版。独立包装，每一本有购物清单，让人放心。帮人家买的书，周五买的书，周天就收到了，快递很好也很快，包装很完整，跟同学一起买的两本，我们都很喜欢，谢谢！了解京东：2013年3月30日晚间，京东商城正式将原域名360buy更换为jd，并同步推出名为“joy”的吉祥物形象，其首页也进行了一定程度改版。此外，用户在输入jingdong域名后，网页也自动跳转至jd。对于更换域名，京东方面表示，相对于原域名360buy，新切换的域名jd更符合中国用户语言习惯，简洁明了，使全球消费者都可以方便快捷地访问京东。同时，作为“京东”二字的拼音首字母拼写，jd也更易于和京东品牌产生联想，有利于京东品牌形象的传播和提升。京东在进步，京东越做越大。||||好了，现在给大家介绍两本本好书：《谢谢你离开我》是张小娴在《想念》后时隔两年推出的新散文集。从拿到文稿到把它送到读者面前，几个月的时间，欣喜与不舍交杂。这是张小娴最美的散文。美在每个充满灵性的文字，美在细细道来的倾诉话语。美在作者书写时真实饱满的情绪，更美在打动人心的厚重情感。从装祯到设计前所未有的突破，每个精致跳动的文字，不再只是黑白配，而是有了鲜艳的色彩，首次全彩印刷，法国著名唯美派插画大师，亲绘插图。|两年的等待加最美的文字，就是你面前这本最值得期待的新作。《洗脑术：怎样有逻辑地说服他人》全球最高端隐秘的心理学课程，彻底改变你思维逻辑的头脑风暴。白宫智囊团、美国FBI、全球十大上市公司总裁都在秘密学习！当今世界最高明的思想控制与精神绑架，政治、宗教、信仰给我们的终极启示。全球最高端隐秘的心理学课程，一次彻底改变你思维逻辑的头脑风暴。从国家、宗教信仰的层面透析“思维的真相”。白宫智囊团、美国FBI、全球十大上市公司总裁都在秘密学习！《洗脑术：怎样有逻辑地说服他人》涉及心理学、社会学、神经生物学、医学、犯罪学、传播学适用于：读心、攻心、高端谈判、公关危机、企业管理、情感对话……洗脑是所有公司不愿意承认，却是真实存在的公司潜规则。它不仅普遍存在，而且无孔不入。阅读本书，你将获悉：怎样快速说服别人，让人无条件相信你？如何给人完美的第一印象，培养无法抗拒的个人魅力？如何走进他人的大脑，控制他们的思想？怎样引导他人的情绪，并将你的意志灌输给他们？如何构建一种信仰，为别人造梦？[SZ]"

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经常有促销活动，购书真便宜～赞！超值！

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还没读 包装还可以！

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