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內容簡介

　　半導體材料是微電子、光電子和太陽能等工業的基石，而其電學性能、光學性能和機械性能將會影響半導體器件的性能和質量，因此，半導體材料性能和結構的測試和分析，是半導體材料研究和開發的重要方麵。《半導體材料測試與分析》主要介紹半導體材料的各種測試分析技術，涉及測試技術的基本原理、儀器結構、樣品製備和應用實例等內容：包括四探針電阻率、無接觸電阻率、擴展電阻、微波光電導衰減、霍爾效應、紅外光譜、深能級瞬態譜、正電子湮沒、熒光光譜、紫外-可見吸收光譜、電子束誘生電流、I-V和C-V等測試分析技術。
　　《半導體材料測試與分析》可供大專院校的半導體物理、材料與器件、材料科學與工程和太陽能光伏等專業的高年級學生、研究生和教師作教學用書或參考書，也可供從事相關研究和開發的科技工作者和企業工程師參考。

內頁插圖

目錄

前言
第1章 電阻率測試
第2章 擴展電阻測試
第3章 少數載流子壽命測試
第4章 少數載流子擴散長度測試
第5章 霍爾效應測試
第6章 紅外光譜測試
第7章 深能級瞬態譜測試
第8章 正電子湮沒譜測試
第9章 光緻熒光譜測試
第10章 紫外-可見吸收光譜測試
第11章 電子束誘生電流測試
第12章 I-V和C-V測試

前言/序言

　　半導體材料是信息産業的基礎，是微電子、光電子以及太陽能等工業的基石，對國傢工業、科技和國防的發展具有至關重要的意義。毫無疑問，半導體材料的電學性能、光學性能和機械性能將會影響半導體器件的性能和質量，而半導體材料這些性能又取決於其摻雜和晶格的完整性，因此，半導體材料性能和結構的測試和分析，是半導體材料研究和開發的重要方麵。
　　目前，我國以微電子工業為代錶的高科技産業蓬勃發展，已經成為國際微電子的主要産業基地之一；同時，我國的太陽能産業也發展迅速，數百傢太陽能電池器件和材料企業涉及其中，其太陽能電池産量已經居世界一位，是我國重要的新興高科技産業；另外，我國半導體照明等光電子和其他新型半導體材料、器件産業也方興未艾。因此，半導體材料的研究、開發和應用，成為國傢科技、工業和國防領域優先發展的重要方嚮，這些對半導體材料的測試與分析都有重要的需求。隨著技術的進步，無論是半導體材料的測試技術、測試原理，還是應用領域，都將會有很大的變化和發展。本書主要描述半導體材料的測試分析技術，介紹各種測試技術的基本原理、儀器結構、樣品製備和分析實例，主要包括載流子濃度（電阻率）、少數載流子壽命、發光等性能以及雜質和缺陷的測試，其測試分析技術涉及四探針電阻率測試、無接觸電阻率測試、擴展電阻、微波光電導衰減測試、霍爾效應測試、紅外光譜測試、深能級瞬態譜測試、正電子湮沒測試、熒光光譜測試、紫外，可見吸收光譜測試、電子束誘生電流測試、L-V和C-V等。本書著重介紹半導體材料的專門的測試分析技術，特彆是半導體材料電學性能和光學性能的測試。這些測試技術（如Hall效應等）在普通的材料測試和分析著作中一般都沒有介紹；而深能級瞬態譜測試、正電子湮沒測試和電子束誘生電流測試技術在國內幾乎沒有專門著作介紹。至於半導體材料的結構的一般測試分析技術，如透射電子顯微鏡（TEM）、掃描電子顯微鏡（SEM）、光學顯微鏡、X射綫衍射儀、光電子能譜儀等等，其原理和應用在其他通用型材料測試分析技術和原理的著作中會涉及，在本書中就沒有加以介紹。本書在國內外最近研究成果的基礎上，闡述瞭半導體材料現代測試分析的主要技術，每一種技術都描述瞭基本原理、儀器構造原理、樣品製備和實驗測試實例等內容。在結構上，以每一種測試技術為單元，單章獨立講述。第l-5章講述半導體材料電學性能的測試，第6～11章是半導體材料雜質和缺陷的測量（包括發光性質的測量），第12章是半導體器件的基本電學性質測量。
　　本書由陳加和（第1章，電阻率測試）、楊德仁、樊瑞新（第2章，擴展電阻測試）、王維燕（第3章，少數載流子壽命測試）、硃鑫（第4章，少數載流子擴散長度測試）、陳培良（第5章，霍爾效應測試）、崔燦、李明（第6章，紅外光譜測試）、餘學功（第7章，深能級瞬態譜測試）、皮孝東（第8章，正電子湮沒譜測試）、李東升（第9章，光緻熒光譜測試）、張輝（第10章，紫外.可見吸收光譜測試）、陳君（第11章，電子束誘生電流測試）和汪雷（第12章，I-V和C-V測試）撰寫，由楊德仁全書審閱、修改和統稿。
　　本書的撰寫者主要是浙江大學矽材料國傢重點實驗室工作在第一綫的中青年研究人員，包括多位在國外著名大學、研究所工作的海外留學人員，他們都長期操作和使用過相關測試儀器和設備。本書是撰寫者在科研工作總結和積纍的基礎上，根據國際研究和測試分析技術的新進展，共同編著而成的。特彆是，書中提供瞭大量的測試應用實例，可為讀者利用相關測試原理和技術提供直接的幫助，相信會對相關專業的研究人員、工程技術人員、本科生和研究生能提供較好的參考。
　　由於撰寫者的經驗、水平和知識麵的限製，本書可能會存在一些錯誤，歡迎讀者批評指教，以便今後改正。
　　楊德仁
　　2009年5月於求是園
半導體材料測試與分析 下載 mobi epub pdf txt 電子書

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