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編輯推薦

　　《薄膜光學與薄膜技術基礎/普通高等教育電子科學與技術類特色專業係列規劃教材》特點：
　　·論述由錶及裏、由淺入深，係統全麵講解薄膜光學基本理論及應用
　　·數學描述嚴謹而詳細，概念清晰，內容層次分明，易於自學
　　·內容反映教學改革成果，安排閤理，學生易於接受
　　·取材在深度及廣度上充分反映現代前沿科學領域的知識內容
　　·《薄膜光學與薄膜技術基礎/普通高等教育電子科學與技術類特色專業係列規劃教材》理論聯係實際，麵嚮工程應用，體現專業特色

內容簡介

　　《薄膜光學與薄膜技術基礎/普通高等教育電子科學與技術類特色專業係列規劃教材》是作者多年來從事薄膜光學與薄膜技術課程教學研究成果的總結。全書共分三篇13章：第一篇分為4章，講述薄膜光學基本理論，內容包括各嚮同性均勻和非均勻、各嚮異性均勻和非均勻、吸收和導電層狀介質薄膜反射和透射特性計算；第二篇分為6章，分類講述增透膜、高反射膜、帶通濾光片、截止濾光片、帶阻濾光片和分光鏡的膜係構成、特性描述及其應用；第三篇分為3章，比較全麵地介紹瞭物理氣相沉積、化學氣相沉積和液相沉積薄膜製備方法原理、光學薄膜檢測技術，以及一些金屬薄膜、半導體薄膜和介質薄膜製備實例。鑒於薄膜光學與薄膜技術的飛速發展，《薄膜光學與薄膜技術基礎/普通高等教育電子科學與技術類特色專業係列規劃教材》在取材的深度和廣度上充分考慮到現代前沿科學領域的知識內容。
　　《薄膜光學與薄膜技術基礎/普通高等教育電子科學與技術類特色專業係列規劃教材》內容翔實，概念清晰，數學推導嚴謹，層次分明，三篇分章具有相對獨立性，在內容上作適當取捨可作為不同專業的高年級本科生教材使用，也可作為研究生的教學參考書。對於從事薄膜光學與薄膜技術的專業科技工作者，《薄膜光學與薄膜技術基礎/普通高等教育電子科學與技術類特色專業係列規劃教材》也具有重要參考價值。

內頁插圖

目錄

第一篇 薄膜光學基本理論
第1章 薄膜光學的電磁理論基礎
1.1 麥剋斯韋方程
1.2 平麵電磁波
1.2.1 復矢量波動方程——齊次矢量亥姆霍茲方程
1.2.2 理想介質中的平麵波解
1.2.3 吸收介質中的平麵波解
1.3 平均電磁能流密度——光強
1.4 電磁波譜、光譜
習題
參考文獻
第2章 平麵光波在兩介質分界平麵上的反射與透射
2.1 各嚮同性理想介質界麵的反射與透射
2.1.1 S波反射與透射
2.1.2 P波反射與透射
2.2 各嚮同性吸收介質界麵的反射與透射
2.2.1 S波反射與透射
2.2.2 P波反射與透射
2.3 非均勻介質界麵的反射與透射
2.3.1 幾何光學近似條件下非均勻介質中的波傳播
2.3.2 任意非均勻介質界麵的反射係數方程
2.4 各嚮異性介質界麵的反射與透射
2.4.1 平麵對稱各嚮異性介質中麥剋斯韋方程的分量形式
2.5 反射係數和透射係數隨入射角的變化
2.5.1 全反射與倏逝波
2.5.2 全透射
2.5.3 反射係數、透射係數振幅和相位隨入射角變化
2.6 反射率和透射率
2.6.1 理想介質分畀麵的反射率和透射率
2.6.2 吸收介質分界麵的反射率和透射率
2.6.3 空氣與金屬導體錶麵的反射率
習題
參考文獻
第3章 平麵光波在平界麵層狀介質薄膜中的反射與透射
3.1 法嚮阻抗和光學有效導納的概念
3.2 平麵分界麵單層均勻介質薄膜的反射與透射
3.3 平麵分界麵多層均勻介質薄膜的反射與透射
3.3.1 平麵分界麵多層均勻介質薄膜反射係數和透射係數計算的矩陣方法
3.3.2 多層增透膜和高反射膜的基本構成特點
3.4 非均勻介質膜層的特徵矩陣
3.4.1 一階近似
3.4.2 二階近似
3.5 各嚮異性介質薄膜的分層矩陣計算方法
3.5.1 各嚮異性介質中的矩陣波動方程
3.5.2 各嚮異性介質薄膜的矩陣波動方程
3.5.3 均勻各嚮異性介質薄膜矩陣波動方程的解
3.5.4 單軸各嚮異性介質薄膜的特徵矩陣
3.5.5 非均勻各嚮異性介質薄膜矩陣波動方程的數值解
3.5.6 單層各嚮異性介質薄膜的反射與透射
習題
參考文獻
第4章 膜係設計圖示法
4.1 矢量法
4.2 導納圖解法
4.2.1 單一等效界麵等反射率導納圓圖和等相位導納圓圖
4.2.2 單層膜係等摺射率導納圓圖和等相位導納圓圖
4.2.3 多層膜係等摺射率導納圓圖
4.3 金屬膜導納圓圖
4.4 膜係層間電場分布
習題
參考文獻

第二篇 光學薄膜分類及應用
第5章 增透膜
5.1 錶麵反射對光學係統性能的影響
5.2 基底介質非相乾疊加的透射率
5.3 透射濾光片組閤透射率
5.4 均勻介質增透膜
5.4.1 單層均勻介質增透膜
5.4.2 多層均勻介質增透膜
5.5 非均勻介質增透膜
5.6 入射角變化對透射率的影響
5.7 增透膜應用實例——液晶顯示增透膜
習題
參考文獻
第6章 高反射膜
6.1 反射鏡組閤的反射率
6.2 周期多層膜係的反射率
6.2.1 周期多層膜係的特徵矩陣
6.2.2 周期多層膜係的反射率和透射率
6.3 [HL]m類型的周期多層膜
6.4 |（0.5 L）H（0.5 L）|m類型的對稱周期多層膜
6.5 周期多層膜構成的寬帶高反射膜
6.6 中遠紅外區域的多層高反射膜
6.7 軟X射綫區域的多層高反射膜
6.8 金屬反射鏡
6.8.1 常用金屬反射鏡
6.8.2 金屬-介質反射鏡
6.9 影響反射特性的因素
6.10 高反射鏡應用實例
6.10.1 激光高反射鏡
6.10.2 光刻機係統193nm高反射膜
6.10.3 DLP/LCoS投影薄膜——寬角度高反射鏡
習題
參考文獻
第7章 帶通濾光片
7.1 帶通濾光片的特性描述
7.2 帶通濾光片的基本構型——法布裏-珀羅乾涉儀及其變形
7.3 法布裏-珀羅乾涉儀透射率計算
7.3.1 單層薄膜反射與透射計算的有效界麵法
7.3.2 膜係透射定理
7.3.3 法布裏-珀羅乾涉儀的透射率計算
7.3.4 法布裏-珀羅乾涉儀透射特性分析
7.3.5 特殊帶通濾光片信噪比的計算
7.4 窄帶和中等帶寬濾光片
7.4.1 法布裏-珀羅乾涉濾光片
……
第三篇 薄膜技術基礎

前言/序言

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