矽集成電路工藝基礎（第二版）

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關旭東著

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齣版社：北京大學齣版社

ISBN：9787301241097

版次：2

商品編碼：11466314

包裝：平裝

叢書名： 21世紀微電子學專業規劃教材

開本：16開

齣版時間：2014-05-01

用紙：膠版紙

頁數：408

具体描述

編輯推薦

　　《矽集成電路工藝基礎（第二版）》非常值得推薦。

內容簡介

　　本書是《矽集成電路工藝基礎》的第二版教材，作者在第一版的基礎上係統的講述瞭矽集成電路製造的基礎工藝，加深瞭工藝物理基礎和基本原理的介紹。增加瞭工藝集成例子的介紹。

作者簡介

　　關旭東，北京大學信息學院微電子係職稱：教授研究方嚮：矽集成電路的設計和規劃主要作品：矽集成電路工藝基礎。

目錄

第一章矽晶體和非晶體
第二章氧化
第三章擴散
第四章離子注入
第五章物理氣相澱積
第六章化學氣相澱積
第七章外延
第八章光刻工藝
第九章金屬化與多層互聯
第十章工藝集成
第十一章薄膜晶體管製造工藝

前言/序言

用户评价

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不錯，很好！蠻快的！一定要寫滿十個字……

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裝的挺漂亮，但是內容原創少

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書質量好，作為教材用

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