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編輯推薦

適讀人群 ：材料物理專業，物理學專業的研究生和高年級的本科生
　　薄膜在微電子器件、磁存儲介質和錶麵封裝等技術應用領域發揮著重要作用，《薄膜材料：應力、缺陷的形成和錶麵演化》全麵闡述瞭薄膜中的應力以及因其産生的缺陷形成和錶麵演化等問題。《薄膜材料：應力、缺陷的形成和錶麵演化》內容兼顧理論、實驗和計算機模擬，適閤工程技術人員、材料科學和物理學研究人員閱讀。《薄膜材料：應力、缺陷的形成和錶麵演化》英文版被美國哈佛大學、布朗大學、麻省理工學院、斯坦福大學等大學用作研究生教材。

內容簡介

　　《薄膜材料：應力、缺陷的形成和錶麵演化》總結瞭過去幾十年裏薄膜材料的研究進展，同時將重點放在薄膜中內應力的起源、發展及其影響等諸多方麵，書中不僅係統考慮瞭薄膜。基底係統或多層膜係統的整體變形及薄膜的斷裂、脫層和翹麯，而且還考慮瞭更小尺度上薄膜中位錯的形成及非彈性變形。薄膜中應力的影響與薄膜材料結構之間的聯係貫穿於整書的討論。通過舉例計算和有實際意義的實例分析及討論，更加具體地闡明瞭書中的基本概念，並於每章後附有習題。
　　《薄膜材料：應力、缺陷的形成和錶麵演化》可供從事材料科學和工程及相關研究領域工作，特彆是從事薄膜材料研究的科技人員和微電子機械領域從事設計製造的工程技術人員閱讀，也可作為有關專業的研究生和大學高年級本科生的教材和參考書。《薄膜材料：應力、缺陷的形成和錶麵演化》英文版被美國哈佛大學、布朗大學、麻省理工學院、斯坦福大學等大學用作研究生教材。

內頁插圖

目錄

第1章 引言和總論
1．1 薄膜組態分類
1．2 薄膜沉積方法
1．2．1 物理氣相沉積
1．2．2 化學氣相沉積
1．2．3 熱噴塗沉積
1．2．4 實例：熱障塗層
1．3 氣相沉積薄膜的生長方式
1．3．1 從氣相到吸附原子
1．3．2 從吸附原子到薄膜生長
1．3．3 自由錶麵或界麵的能量密度
1．3．4 錶麵應力
1．3．5 基於錶麵能的生長方式
1．4 薄膜微觀結構
1．4．1 外延膜
1．4．2 實例：垂直孔洞錶麵發射激光
1．4．3 多晶體膜
1．4．4 實例：磁存儲介質薄膜
1．5 微電子結構的製備
1．5．1 光刻
1．5．2 銅互聯體的大馬士革加工
1．6 MEMS結構的製備
1．6．1 整體微加工
1．6．2 錶麵微加工
1．6．3 成型加工
1．6．4 NEMS結構
1．6．5 實例：振動梁細菌探測器
1．7 薄膜應力源
1．7．1 薄膜應力的分類
1．7．2 外延薄膜中的應力
1．8 多晶體薄膜中的生長應力
1．8．1 島閤並前的壓縮應力
1．8．2 實例：錶麵覆蓋的影響
1．8．3 島接觸引起的拉應力
1．8．4 連續生長過程中的壓縮應力
1．8．5 最終應力與晶粒結構間的關係
1．8．6 應力演變的其他機製
1．9 薄膜應力的後果
1．10 習題

第2章 薄膜應力和基底麯率
2．1 stoney方程
2．1．1 實例：外延應變引起的麯率
2．1．2 實例：熱應變引起的麯率
2．2 薄膜厚度對雙層薄膜麯率的影響
2．2．1 任意薄膜厚度的基底麯率
2．2．2 實例：雙層薄膜最大熱應力
2．2．3 溫度調節雙金屬片的曆史記錄
2．3 麯率測量方法
2．3．1 掃描激光法
2．3．2 多束光學應力敏感技術
2．3．3 光柵反射法
2．3．4 相乾梯度傳感器方法
2．4 層狀和成分梯度薄膜
2．4．1 非均勻錯配應變和彈性性能
2．4．2 錯配應變中的恒定梯度
2．4．3 實例：成分梯度薄膜的應力
2．4．4 周期多層薄膜
2．4．5 實例：多層薄膜整體熱彈性響應
2．4．6 微小總厚度的多層薄膜
2．4．7 實例：薄多層膜中的應力
2．5 幾何非綫性變形範圍
2．5．1 綫性範圍的極限
2．5．2 非綫性範圍內的軸對稱變形
2．6 平衡形狀的分叉
2．6．1 均勻麯率的分叉分析
2．6．2 均勻麯率狀態的可視化
2．6．3 -般麯率變化的分叉
2．6．4 基底麯率變形圖
2．6．5 實例：Cu／Si係統的麯率圖
2．7 習題

第3章 各嚮異性和圖形薄膜中的應力
3．1 彈性各嚮異性
……
第4章 脫層和斷裂
第5章 薄膜的翹麯、鼓包和剝離
第6章 外延係統中的位錯形成
第7章 位錯交互作用和應變弛豫
第8章 錶麵的平衡和穩定性
第9章 應力在傳質中的作用
參考文獻
英漢名詞索引

前言/序言

　　《薄膜材料》英文版（第一版）於2003年12月由英國劍橋大學齣版社齣版，我們對世界各地的同行和研究人員給予該書的反饋信息深錶感謝。
　　《薄膜材料》中文版的齣版為我們提供瞭一個特彆的機會，把我們對這種有趣並且有用的材料的理解以他們自己的語言傳播給中國的學生、研究人員和工程師，他們辛勤工作在一個科學技術和教育等領域正經曆翻天覆地變化的國度裏。我們感謝中國科學院金屬研究所的同行對這本書細緻的翻譯工作。我們特彆感謝盧磊研究員的熱忱奉獻和在開展這項翻譯工作中的傑齣組織領導：特彆感謝金屬研究所疲勞與斷裂國傢重點實驗室前主任王中光研究員，在本書整個的翻譯過程中，他提供瞭寶貴的幫助、意見和建議。
　　我們還要真誠地感謝盧磊研究員以及她的同事，包括陶乃鎔博士、張廣平博士、史亦農博士、張磊博士、王鎮波博士，他們為完成本書的翻譯付齣瞭艱辛的勞動。感謝中國工程院前副院長、中國國傢自然科學基金委員會顧問師昌緒先生。他熱情地為本書中文版作序。感謝中國科學齣版社為本書的齣版提供瞭財政支持。同時我們也感謝劍橋大學齣版社在組織這次翻譯中的閤作和協助。
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