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圖書基本信息

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書名：反射高能電子衍射在薄膜生長中的錶麵分析
ISBN：9787030338150
著者：魏賢華
齣版社：科學齣版社
叢書名：科學版研究生教學叢書
POD版定價：65元
正文語言：中文
裝幀：平裝
開本：16
頁數：200
字數：250000

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目錄

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序言
前言
第1章 固體錶麵與錶麵分析方法
1.1 錶麵的定義與分類
1.1.1 錶麵的定義
1.1.2 錶麵的分類
1.1.3 清潔錶麵
1.2 錶麵分析方法
1.2.1 掃描隧道顯微鏡和原子力顯微鏡
1.2.2 電子顯微鏡
1.2.3 X射綫衍射
1.2.4 低能電子衍射
1.3 RHEED的迴顧與發展
1.3.1 早期實驗中的靜態分析
1.3.2 RHEED在薄膜生長過程中的應用
1.3.3 RHEED的發展
參考文獻
第2章 錶麵原子結構與倒易點陣
2.1 二維晶體學
2.1.1 二維晶體的周期性
2.1.2 二維晶體的對稱性及點群
2.1.3 平麵群
2.1.4 倒易點陣
2.2 理想錶麵的原子結構
2.2.1 晶麵與晶嚮
2.2.2 麵心立方結構
2.2.3 體心立方結構
2.2.4 縴鋅礦結構
2.3 清潔錶麵的原子結構
2.3.1 颱階錶麵模型
2.3.2 錶麵重構
2.3.3 錶麵弛豫
參考文獻
第3章 RHEED的構造與原理
3.1 超高真空係統與清潔錶麵準備
3.1.1 超高真空的獲得
3.1.2 薄膜製備係統
3.1.3 清潔錶麵的準備
3.2 電子光學係統
3.2.1 電子槍
3.2.2 電子的波長
3.2.3 采集係統
3.3 高能電子與固體錶麵的作用
3.3.1 原子對電子的散射
3.3.2 晶體對電子的衍射
3.3.3 摺射
3.4 RHEED的衍射原理
3.4.1 反射和透射
3.4.2 RHEED衍射譜特徵
參考文獻
第4章 RHEED衍射譜的標定
4.1 單晶衍射譜的標定
4.1.1 立方晶體錶麵
4.1.2 消光與二次衍射
4.1.3 密堆六方晶體錶麵
4.2 孿晶衍射譜的標定
4.2.1 疇結構的外延
4.2.2 近重位點陣模型
4.2.3 孿晶衍射譜
4.3 準晶衍射譜
4.3.1 準晶薄膜
4.3.2 退火製備準晶
4.3.3 準晶襯底上的外延生長
4.4 多晶衍射譜的標定
4.4.1 隨機取嚮多晶薄膜
4.4.2 擇優取嚮多晶薄膜
4.5 菊池綫
參考文獻
第5章 RHEED對薄膜生長動力學的分析
5.1 外延生長過程中的晶格
5.1.1 衍射強度分布
5.1.2 衍射條紋間距計算
5.1.3 晶格應變與弛豫
5.2 薄膜外延生長動力學
5.2.1 生長模式
5.2.2 二維生長模式與Matthews-Blakeslee公式
5.2.3 臨界厚度的實驗觀察
5.2.4 生長模式之間的競爭
5.2.5 SK生長模式的實驗觀察
5.2.6 SK生長模式下的麵內麵外晶格的精確計算
5.2.7 壓應力與張應力的比較
5.3 多晶薄膜取嚮的分析
5.3.1 單軸織構薄膜的電子衍射
5.3.2 衍射強度的弧度分布
5.3.3 雙軸織構薄膜的電子衍射
5.4 織構薄膜生長動力學
5.4.1 單軸織構
5.4.2 雙軸織構
參考文獻
第6章 RHEED強度振蕩
6.1 基本原理
6.1.1 原始模型
6.1.2 層與晶胞
6.1.3 晶格振蕩與衍射條紋寬度的振蕩
6.2 沉積條件對強度振蕩的影響
6.2.1 生長溫度
6.2.2 沉積速率
6.2.3 氣氛
6.3 錶麵弛豫
6.3.1 RHEED振蕩與錶麵弛豫
6.3.2 錶麵擴散活化能
6.3.3 間歇式層狀生長
6.4 相位移
6.4.1 實驗現象
6.4.2 影響因素
6.4.3 理論模型
參考文獻
第7章 RHEED的新應用
7.1 高壓RHEED的應用
7.1.1 背景與要求
7.1.2 技術與應用
7.2 RHEED的錶麵極圖
7.2.1 引言
7.2.2 RHEED極圖的構建
7.2.3 在織構薄膜分析的應用
7.2.4 RHEED Φ掃描在外延薄膜中的應用
7.2.5 與XRD極圖的對比
7.3 RHEED在量子結構中的分析
7.3.1 引言
7.3.2 量子點幾何與RHEED形狀
7.3.3 量子結構的形成機製
參考文獻

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