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內容簡介

本係列叢書共分《半導體化閤物光電原理》、《半導體化閤物光電器件製備》、《半導體化閤物光電器件檢測》三部。從ⅢA～ⅤA族半導體化閤物的基本原理、光電器件製備與工藝，以及器件性能檢測等方麵，較係統地介紹瞭相關基礎知識，適閤材料，物理化學，光學，微電子學與固體電子學等專業的本科和研究生以及工程技術人員和企業相關人員閱讀。

目錄

第1章透射電子顯微鏡1
1��1透射電子顯微鏡的結構與成像原理2
1��1��1電磁透鏡3
1��1��2照明係統5
1��1��3成像係統8
1��1��4觀察記錄、真空與供電係統10
1��1��5主要部件的結構和工作原理11
1��1��6目前常用電鏡的生産廠傢、型號及性能13
1��2TEM樣品製備技術15
1��2��1概述15
1��2��2非金屬材料薄膜樣品的製備17
1��3透射電子顯微鏡電子的成像原理20
1��3��1成像操作21
1��3��2高分辨電子顯微像25
1��3��3電子衍射譜30
1��3��4電子衍射花樣的標定42
1��4透射電子顯微鏡在LED方麵的應用45
1��4��1高分辨透射電子顯微像及選區電子衍射花樣成像46
1��4��2界麵的失配位錯、堆垛層錯46
1��4��3明場像47
參考文獻48
第2章掃描電子顯微鏡49
2��1掃描電子顯微鏡50
2��1��1電子光學係統50
2��1��2信號檢測放大係統51
2��1��3顯示係統52
2��1��4真空係統52
2��1��5電源係統52
2��2掃描電子顯微鏡成像原理53
2��2��1掃描電子顯微鏡中的信號種類53
2��2��2掃描電子顯微鏡的成像原理56
2��2��3掃描電子顯微鏡像形成襯度原理57
2��2��4掃描電子顯微鏡的主要性能63
2��3掃描電子顯微鏡的樣品製備66
2��4掃描電子顯微鏡的性能和特點66
2��5掃描電子顯微鏡的能譜儀67
2��6掃描電子顯微鏡在LED中的應用67
參考文獻70
第3章原子力顯微鏡71
3��1原子力顯微鏡的主要構件71
3��2原子力顯微鏡的結構73
3��2��1力檢測部分73
3��2��2位置檢測部分73
3��2��3反饋係統73
3��3原子力顯微鏡的原理及工作模式74
3��3��1原子力顯微鏡的原理74
3��3��2原子力顯微鏡的工作模式76
3��4原子力顯微鏡的分辨率79
3��5原子力顯微鏡的工作環境80
3��6激光檢測原子力顯微鏡81
3��7原子力顯微鏡的功能81
3��8原子力顯微鏡樣品的要求82
3��9原子力顯微鏡在LED方麵的應用82
參考文獻85
第4章薄膜X射綫衍射87
4��1X射綫衍射基本理論87
4��1��1發展和特點87
4��1��2X射綫的産生88
4��1��3X射綫譜89
4��1��4X射綫衍射原理90
4��1��5X射綫衍射實驗98
4��1��6X射綫衍射分析基本應用105
4��2薄膜X射綫衍射108
4��2��1原理109
4��2��2應用實例130
4��3D8�睤ISCOVER型高分辨X射綫衍射儀143
4��3��1儀器構造和原理144
4��3��2儀器功能與操作150
參考文獻161
第5章光緻發光和電緻發光162
5��1光緻發光的理論基礎163
5��1��1光緻發光基本概念163
5��1��2輻射發光壽命和效率164
5��1��3半導體材料中的輻射復閤166
5��1��4光緻熒光譜173
5��2光緻發光測試係統和樣品180
5��2��1係統工作原理和構造180
5��2��2測試樣品182
5��2��3光譜校正182
5��3光緻熒光譜測試的應用和實例183
5��3��1雜質及其濃度的測量183
5��3��2化閤物組分的測量185
5��3��3成分均勻性的測量185
5��3��4位錯的測量和錶徵186
5��3��5晶體質量的錶徵187
5��3��6納米半導體材料的測量188
5��4電緻發光191
5��4��1電緻發光的激發條件191
5��4��2光譜的測量192
5��5發光效率及其測量方法192
5��5��1光緻發光材料的發光效率以及測量方法192
5��5��2電緻發光效率的測量195
參考文獻197
第6章霍爾效應199
6��1基本理論199
6��1��1霍爾效應的基本原理199
6��1��2範德堡測試技術202
6��2霍爾效應的測試係統203
6��2��1霍爾效應測試儀的結構203
6��2��2霍爾效應儀的靈敏度205
6��3霍爾效應測試205
6��3��1霍爾效應測試的樣品要求205
6��3��2霍爾效應測試的測準條件207
6��3��3霍爾效應測試步驟208
6��4霍爾效應測試的應用和實例209
6��4��1矽的雜質補償度測量209
6��4��2ZnO的載流子濃度、遷移率和補償度測量211
6��4��3矽超淺結中載流子濃度的深度分布測量212
參考文獻214
第7章LED光電性能測試215
7��1LED發光器件基本參數215
7��1��1LED發光器件的光度學參數215
7��1��2LED發光器件色度學參數217
7��1��3LED發光器件的電性參數221
7��2LED外延片的測試223
7��2��1光緻發光譜測試223
7��2��2電緻發光譜測試226
7��3LED芯片的測試229
7��3��1光學參數測試229
7��3��2色度參數測量238
7��3��3電學性能測試242
7��3��4測量結果及分析248
參考文獻249
第8章太陽電池測試250
8��1太陽模擬器250
8��1��1概述250
8��1��2太陽輻射的基本特性250
8��2單體太陽電池測試251
8��2��1測試項目252
8��2��2電性能測試的一般規定252
8��2��3測量儀器與裝置252
8��2��4基本測試方法253
8��2��5從非標準測試條件換算到標準測試條件253
8��2��6室外陽光下測試253
8��2��7太陽電池內部串聯電阻的測量254
8��2��8太陽電池電流和電壓溫度係數的測量254
8��3非晶矽太陽電池電性能測試須知255
8��3��1校準輻照度255
8��3��2光源255
8��3��3光譜響應255
8��4太陽電流組件測試和環境試驗方法255
8��4��1測試項目255
8��4��2組件電性能參數測量中所需的參考組件255
8��4��3太陽電池組件測試方法256
8��5地麵用矽太陽電池組件環境試驗概況256
8��5��1溫度交變257
8��5��2高溫貯存257
8��5��3低溫貯存257
8��5��4恒定濕熱貯存257
8��5��5振動、衝擊257
8��5��6鹽霧試驗257
8��5��7冰雹試驗257
8��5��8地麵太陽光輻照試驗257
8��5��9扭彎試驗258
參考文獻258

前言/序言

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