齣版社： 清華大學齣版社
ISBN：9787302274834
版次：1
商品編碼：11874803
品牌：清華大學
包裝：平裝
開本：16開
齣版時間：2012-03-01
用紙：膠版紙
具体描述
內容簡介
薄膜及微細加工技術的應用範圍極為廣泛，從大規模集成電路、電子元器件、平闆顯示器、信息記錄與存儲、MEMS、傳感器、白光LED固體照明、太陽能電池到材料的錶麵改性等，涉及高新技術産業的各個領域。本書內容包括真空技術基礎、薄膜製備、微細加工、薄膜材料及應用等4大部分，涉及薄膜技術與薄膜材料的各個方麵，知識全麵，脈絡清晰。全書共17章，文字通俗易懂，並配有大量圖解，每章後麵附有習題，有利於對基本概念和基礎知識的理解、掌握與運用。本書可作為材料、機械、精密儀器、化工、能源、微電子、計算機、物理、化學、光學等學科本科生及研究生教材，對於從事相關行業的科技工作者與工程技術人員，也具有極為難得的參考價值。前言/序言
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评分好書，用來上課教學生，清華大學的
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