微機電係統(MEMS)製造技術

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苑偉政,喬大勇 著
圖書標籤:
  • MEMS
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  • 集成電路
  • 材料科學
  • 工藝流程
  • MEMS器件
  • 微加工
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出版社: 科学出版社
ISBN:9787030399748
版次:31
商品编码:12136119
包装:精装
丛书名: 纳米制造的基础研究学术著作丛书
开本:32开
出版时间:2017-07-01
页数:256
正文语种:中文

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