微光機電係統 [Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems] pdf epub mobi txt 电子书 下载 2025

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[美] 莫塔麥迪 著，周海憲，程雲芳 譯

圖書標籤:

• 微機電係統
• 光機電係統
• MEMS
• MOEMS
• 微光子學
• 傳感器
• 執行器
• 微納技術
• 集成光學
• 精密儀器

出版社： 国防工业出版社

ISBN：9787118063653

版次：1

商品编码：10065729

包装：平装

外文名称：Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems

开本：16开

出版时间：2010-01-01

用纸：胶版纸

页数：510

正文语种：中文

內容簡介

近代光學和光電子技術的迅速發展使光電子儀器及其元件（包括光學元件和機械零件）發生瞭巨大的變化，最重要的變化之一是從宏觀概念發展到微觀概念，因此，形成瞭不同的微光學儀器研究領域：微光學係統（Micro-Optics）、微機電係統（MEMS）和微光機電係統（MOEMS）。
微光學元件是應用現代微加工技術，例如光學蝕刻技術、激光束直寫和電子束直寫以及反應離子束蝕刻技術製造齣的一類光學零件，一般地，這種元件的外形尺寸是微米數量級。微光學元件包括衍射和摺射兩種，例如微透鏡、微反射鏡、微扇齣光柵、最佳相位元件和偏振器等，已經成為實現（而利用傳統的光學元件不可能實現或者是不現實的）各種光學功能的強有力工具，幾乎在所有的工程應用領域中，特彆是在現代國防科學技術領域中有重要的應用價值和廣闊的應用前景。與傳統的光學元件相比，微光學元件最大的優點就是可以將大的復雜光學係統集成為非常緊湊的形式，使光電子儀器及其零部件更加小型化、陣列化和集成化，因此，微光學元件是製造小型或超小型光電子係統的關鍵元件。

內頁插圖

目錄

第1章 概述
1.1 集成電路和微加工技術的發展
1.2 微機電係統的發展
1.3 微光學的最新發展
1.4 MEMS中的微光學：MOEMS迴顧
1.4.1 光學開關的新發展
1.4.2 可調諧濾光片和波分復用技術（WDMs）
1.4.3 數字反射鏡裝置
1.4.4 MOEMS掃描器
1.4.5 電信領域中的MOEMS技術
1.5 微係統：術語和範圍
1.5.1 世界範圍內MEMS和MOEMS的活動
1.5.2 世界範圍內的MEMS和MOEMS學科
1.5.3 MEMS和MOEMS的世界市場
1.6 本書涵蓋的內容
參考文獻

第2章 微機械加工技術
2.1 概述
2.2 散體微加工技術
2.2.1 濕散體微加工技術
2.2.2 乾散體微加工技術
2.3 深X射綫平版印刷術（DXRL）
2.4 錶麵微加工技術
2.5 與CMOS兼容的MEMS和MOEMS
2.6 以半導體復閤材料為基礎的MEMS和MOEMS
2.7 MOEMS應用中與光學有關的問題
問題與練習
參考文獻

第3章 微光學
3.1 概述
3.2 微光學發展史
3.3 光束通過微結構和納米結構的偏轉
3.3.1 摺射和衍射微光學元件
3.3.2 模擬摺射率材料
3.3.3 光子晶體
3.3.4 諧振濾光片
3.3.5 對輪廓形狀的要求
3.4 二元和多階光學元件
3.4.1 目的
3.4.2 二元光學結構的加工
3.4.3 多階結構的加工
3.5 連續麵浮雕結構的加工技術
3.5.1 平版印刷技術
3.5.2 錶麵輪廓轉印到光學材料內
3.6 結論
問題與練習
參考文獻

第4章 緻動器和傳感器
4.1 概述
4.1.1 微緻動器
4.1.2 與MOEMS有關的傳感器
4.1.3 本章的內容
4.2 靜電緻動器
4.2.1 背景
4.2.2 共麵緻動技術
4.2.3 異麵緻動技術
4.2.4 三維緻動技術
4.3 熱緻動器
4.3.1 基本原理
4.3.2 共麵緻動技術
4.3.3 異麵緻動技術
4.3.4 三維緻動技術
4.4 形狀記憶緻動器
4.4.1 基礎知識
4.4.2 共麵緻動技術
4.4.3 異麵緻動技術
4.4.4 三維緻動技術
4.5 壓電緻動器
4.5.1 基礎知識
4.5.2 共麵緻動技術
4.5.3 異麵緻動技術
4.5.4 三維緻動技術
4.6 磁性緻動器
4.6.1 基礎知識
4.6.2 共麵緻動技術
4.6.3 異麵緻動技術
4.6.4 三維緻動技術
4.7 與MOEMS有關的傳感器
4.7.1 位移傳感器
4.7.2 化學傳感器
4.7.3 熒光探測傳感器
4.7.4 慣性傳感器：加速度計
4.7.5 壓力傳感器
問題與練習
參考文獻

第5章 微光學元件，測試和應用
5.1 微光學元件
5.1.1 微光學透鏡
5.1.2 液晶光學元件
5.1.3 光束成形光學元件
5.2 微光學測試
5.2.1 光學輪廓測量
5.2.2 錶麵偏離的測量
5.2.3 波像差測量
5.3 微光學的應用
5.3.1 光束控製
5.3.2 微透鏡和焦平麵陣列(FPA）的集成
問題與練習
參考文獻

第6章 縴維光學係統
6.1 概述
6.2 基礎知識
6.2.1 光縴類型
6.2.2 縴維光學元件的關鍵參數
6.2.3 光縴或波導的直接移動
6.2.4 平行光束中的控製
6.3 光縴準直器及其陣列
6.3.1 光縴陣列
6.3.2 微透鏡陣列的要求
6.3.3 微透鏡陣列的製造
6.3.4 光縴陣列和微透鏡陣列的安裝技術
6.4 安裝有MOEMS的縴維光學元件
6.4.1 可變光學衰減器
6.4.2 動態增益和通道均衡器
6.4.3 光學縴維開關
6.4.4 可調諧光源和濾光片
6.5 總結
問題與練習
參考文獻

第7章 光學掃描
7.1 概述
7.2 光學掃描器的工作原理及其分類
7.3 機械掃描係統
7.3.1 傾斜微反射鏡
7.3.2 透鏡掃描器
7.3.3 微電機掃描器
7.3.4 安裝有杠杆平衡機構的反射鏡
7.3.5 采用錶麵微加工技術製造齣的反射鏡
7.4 多維掃描
……
第8章 顯示和成像係統
第9章 自適應光學
第10章 MEMS和MOEMS的計算機輔助設計及模擬
第11章 MEMS和MOEMS的封裝
第12章 MEMS和MOEMS材料
書中縮略語注釋

精彩書摘

　　微光學技術可以解決一些常規光學不能解決的問題。微光學的優勢類似於MEMS，為光學係統尺寸的微型化提供一個強有力的工具，這是常規光學元件加工不可能達到的。
　　各種加工技術的發展，包括二元光學和灰度光刻法、低成本復印技術以及改進後的衍射光學設計方法，已經使加工精度、可靠性和微光學元件的質量得到瞭提高，並且拓寬瞭微光學器件的設計及製造種類。
　　正如第3章和第5章所述，微透鏡是微光學裝置的關鍵元件，幾乎在所有的高級光學係統中都需要它。為瞭滿足光學係統的所有要求，需要同時研發衍射微透鏡和摺射微透鏡。微透鏡的兩個關鍵特性是速率和填充因子。微透鏡的速率定義為透鏡的焦距與直徑之比，該比值稱為F數，並用F/比值錶示。填充因子應用於微透鏡陣列，錶示一個陣列如何封裝。衍射微透鏡陣列的填充因子是100％，但其速率受到限製，對可見光，限製到F/4如果是近紅外光，可能限製到F/2到F/1。在第3章和第5章將會看到，材料的摺射率對控製衍射透鏡的速率起著重要作用。為瞭製造高速率的微透鏡，采用高摺射率材料，例如GaAs是比較理想的。圖1-8給齣瞭使用掃描電子顯微鏡（SEM）拍攝的F／0．3高速微透鏡陣列的顯微照片，波長A為10um，微透鏡直徑120um，填充因子100％。

前言/序言

　　近代光學和光電子技術的迅速發展使光電子儀器及其元件（包括光學元件和機械零件）發生瞭巨大的變化，最重要的變化之一是從宏觀概念發展到微觀概念，因此，形成瞭不同的微光學儀器研究領域：微光學係統（Micro-Optics）、微機電係統（MEMS）和微光機電係統（MOEMS）。
　　微光學元件是應用現代微加工技術，例如光學蝕刻技術、激光束直寫和電子束直寫以及反應離子束蝕刻技術製造齣的一類光學零件，一般地，這種元件的外形尺寸是微米數量級。微光學元件包括衍射和摺射兩種，例如微透鏡、微反射鏡、微扇齣光柵、最佳相位元件和偏振器等，已經成為實現（而利用傳統的光學元件不可能實現或者是不現實的）各種光學功能的強有力工具，幾乎在所有的工程應用領域中，特彆是在現代國防科學技術領域中有重要的應用價值和廣闊的應用前景。與傳統的光學元件相比，微光學元件最大的優點就是可以將大的復雜光學係統集成為非常緊湊的形式，使光電子儀器及其零部件更加小型化、陣列化和集成化，因此，微光學元件是製造小型或超小型光電子係統的關鍵元件。
　　微機械加工技術與集成電路的發展密切相關，批量生産和減小尺寸是集成電路高度商業化成功的關鍵，微傳感器得到瞭非常廣泛的應用。因此，微機械加工技術是微電子處理工序中一種很重要的方法，對大量的微米級結構，例如溝、槽、微型梁和橋都必須使用微機械加工技術。微機電係統（MEMS）是利用微加工技術製造齣的三維機械一電子裝置，一個典型的M。EMS裝置至少包含一個可運動結構以滿足某種機械作用的需要，顧名思義，MEMS裝置由電子和機械兩種元件組成。在美國和其他國傢，尤其在歐洲的一些國傢，所有研發微係統的項目都廣泛以縮寫MEMS代錶微電子一機械係統（micro-electro-mechanicalsystems）。

《微光機電係統》 一、 領域概覽與核心概念 微光機電係統（Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems, MOEMS）是當今尖端科技領域中一個極具潛力的交叉學科。它巧妙地將微電子學、微機械學、光學以及係統集成技術融為一體，旨在製造齣尺寸微小、功能集成度高、性能卓越的新型器件和係統。其核心在於利用微納製造工藝，在微米甚至納米尺度上，製造齣能夠操控光信號、進行電信號處理以及實現機械運動的微型化組件，並將其高效地集成起來，形成一個協同工作的整體。 MOEMS 的“微”體現在其構件的尺寸，從幾個微米到數百微米不等，遠小於傳統的宏觀器件。這種微型化帶來瞭諸多優勢，包括極低的功耗、極高的集成密度、更快的響應速度以及更低的製造成本。其“光”指嚮係統對光信號的敏感性、操控能力以及光信息傳輸的功能。“機電”則強調瞭係統中包含的機械運動部件以及電信號對這些機械部件的驅動和控製。“係統”的含義則錶明，MOEMS 不僅僅是單個器件的堆砌，而是通過精巧的設計，將多個功能單元有機地結閤，實現更復雜、更強大的功能。 二、 關鍵技術支柱 MOEMS 的實現依賴於多項關鍵技術，它們相互支撐，共同推動瞭該領域的進步： 1. 微納製造技術： 這是 MOEMS 的基石。先進的微納加工技術，如光刻（photolithography）、刻蝕（etching，乾法和濕法）、薄膜沉積（thin-film deposition，如CVD、PVD）、微電子互連工藝等，是實現微小結構精確成型和器件集成的關鍵。特彆是針對光學和機械部件的特殊要求，需要發展具有高精度、高選擇性和良好錶麵質量的加工工藝。 2. 微機械係統（MEMS）技術： MEMS 是 MOEMS 的重要組成部分，提供瞭微小的機械執行器、傳感器和結構。這些微型機械部件能夠實現精密的位移、角度控製、振動、力 sensing 等，為 MOEMS 的光學功能提供瞭物理基礎。例如，微反射鏡、微緻動器、微諧振器等都屬於 MEMS 的範疇。 3. 微光學技術： 微光學關注微尺寸光學元件的設計、製造和集成，如微透鏡、微反射鏡、光柵、波導、光縴耦閤器等。這些微型光學元件能夠實現光信號的聚焦、衍射、耦閤、分束、偏振等功能，是 MOEMS 實現光學信息處理的核心。 4. 微電子技術： 微電子技術為 MOEMS 提供瞭智能化的控製和信號處理能力。通過集成微處理器、 ASIC（專用集成電路）或其他電子元件，可以實現對 MOEMS 器件的精確控製、數據采集、信號處理和係統級功能。 5. 封裝與集成技術： 如何將這些不同性質的微型器件（光學、機械、電子）穩定、可靠地集成到一個封裝中，並保證它們之間的協同工作，是 MOEMS 係統實現的關鍵挑戰。這涉及到先進的鍵閤技術、封裝材料、以及對復雜三維結構的精確定位和連接。 三、 核心功能與潛在應用 MOEMS 的獨特設計使其能夠實現一係列強大的功能，並在眾多領域展現齣巨大的應用潛力： 1. 光信號的操控與調製： MOEMS 可以實現對光信號的精確控製，如光開關、光調製器、光柵掃描器、可變衰減器等。通過微型化的機械部件對光學元件進行物理移動或形變，可以改變光路的走嚮、光的強度、頻率或相位。 2. 微型化光學傳感與成像： 將微型光學元件與微型傳感器集成，可以構建齣高靈敏度、高分辨率的微型光學傳感器，用於檢測光信號、化學物質、生物分子等。例如，微型光譜儀、微型生物傳感器、微型成像係統等。 3. 快速、低功耗的光學檢測與處理： MOEMS 具備快速響應能力，能夠實現高速的光學檢測和信息處理。其低功耗特性也使其非常適閤應用於便攜式設備和對能量有限製的場景。 4. 集成化、模塊化的光學係統： MOEMS 能夠將原本龐大、復雜的精密光學係統，通過微納製造技術集成到指甲蓋大小的芯片上，實現功能的高度集成和模塊化，降低瞭係統的體積、重量和成本。 四、 典型應用領域展望 MOEMS 的發展正在深刻影響著諸多行業： 1. 通信與信息技術： 在光通信領域，MOEMS 被廣泛應用於光縴到戶（FTTH）的無源光網絡（PON）中的光分插復用器（OADM）、光開關、光收發模塊等。其快速、低功耗的特性為構建更高效、更靈活的光網絡提供瞭可能。 2. 顯示技術： 微型掃描鏡陣列（如LCoS、DMD技術的演進）是 MOEMS 在顯示領域的核心應用，可以實現高分辨率、高亮度、高對比度的投影顯示。 3. 生物醫療： 微型光譜儀、微流控芯片上的集成光學檢測係統，以及用於藥物篩選、疾病診斷的微型生物傳感器，都為醫療診斷和生命科學研究帶來瞭革命性的進步。 4. 汽車工業： 用於高級駕駛輔助係統（ADAS）的微型激光雷達（LiDAR）、車內環境監測傳感器，以及用於抬頭顯示（HUD）的光學引擎，都是 MOEMS 在汽車領域的重要應用。 5. 消費電子： 智能手機中的微型投影儀、生物識彆傳感器（如光學指紋識彆）、以及用於增強現實（AR）和虛擬現實（VR）設備的光學模組，都將受益於 MOEMS 技術的發展。 6. 工業製造與計量： 微型光學測量儀器、高精度激光加工係統、以及用於無損檢測的光學探頭，都在工業領域展現齣巨大的潛力。 五、 挑戰與未來發展方嚮 盡管 MOEMS 技術前景廣闊，但仍麵臨一些挑戰。例如，如何進一步提高器件的可靠性和穩定性，如何降低製造成本，如何實現更復雜的係統集成，以及如何開發更先進的控製算法等，都是需要持續研究的方嚮。 未來，MOEMS 的發展將朝著更高集成度、更強大的功能、更低的功耗、更廣的應用領域邁進。隨著新材料、新工藝、新理論的不斷湧現，MOEMS 將在推動人類科技進步和改善生活質量方麵發揮越來越重要的作用。 《微光機電係統》旨在深入探討 MOEMS 的基礎理論、關鍵技術、設計方法、製造工藝以及最新的應用進展，為研究人員、工程師和學生提供一個全麵、深入的學習和研究平颱，共同推動這一前沿科技領域的創新與發展。

评分☆☆☆☆☆

這本書的封麵設計就充滿瞭科技感，那種深邃的藍色背景，加上若隱若現的光綫和復雜的微小器件輪廓，一下子就抓住瞭我的眼球。拿到手裏，厚實又有質感，拿到書的時候，我正在為我那個關於微流控芯片的實驗項目尋找理論支持，總覺得現有的一些文獻資料過於分散，不夠係統。這本書的標題“微光機電係統”立刻引起瞭我的興趣，雖然不是我直接研究的微流控，但“微”、“光”、“機電”這幾個詞的組閤，讓我預感到這裏麵可能蘊含著一些我需要的信息，或者能給我帶來新的啓發。我翻開目錄，看到裏麵涵蓋瞭光微電子學、MEMS技術、微光學元件、光信號處理、甚至還有一些生物醫學應用方麵的章節。這讓我意識到，這本書可能是一個非常全麵的概述，它將這些看似獨立的領域巧妙地聯係起來，描繪瞭一個更加廣闊的技術圖景。我尤其對那些關於“微光”部分的介紹感到好奇，因為在我的研究中，如何精確控製和探測微小的光信號一直是一個挑戰，而這本書似乎能夠提供一些理論基礎和實現思路。我設想，它可能會深入講解如何利用微納結構來實現光的功能，比如光波導、光柵、微透鏡等等，並且是如何與微小的機械結構和電子元件結閤，形成一個協同工作的係統。這讓我對這本書的期待值瞬間拉滿，我覺得它可能不僅僅是一本技術手冊，更像是一扇通往未來微納世界的大門，能夠幫助我拓展視野，看到更多可能性。而且，我喜歡那種能夠將復雜原理講得清晰易懂的書籍，我希望這本書能夠做到這一點，即使有些內容對我來說是全新的領域，也能讓我逐步理解。

评分☆☆☆☆☆

我一直對那些能夠改變世界的小巧而強大的技術充滿著嚮往，而“微光機電係統”這個書名，恰恰勾勒齣瞭這樣一種前沿的科技圖景。它不僅僅是簡單的“微型化”，更是將“光”的靈動、“機”的精密、“電”的智能三者融為一體，創造齣擁有全新功能的係統。我一直思考，在極小的尺度下，光是如何被操縱和利用的，微小的機械結構又是如何實現精確的運動和傳感，而電子係統又如何驅動和協調這一切。這本書的標題，讓我覺得它能夠解答這些疑問。我期待它能深入介紹微光機電係統（MOMS）的核心技術，包括微型光學元件的設計與製造、微型執行器和傳感器的原理與應用，以及如何將它們與微電子控製係統進行有效的集成。我尤其對書中關於光信號的産生、傳播、檢測和處理方麵的內容感興趣，希望能夠瞭解到如何利用光來實現高精度測量、高效通信，甚至是微觀世界的成像。我設想，書中可能會包含一些關於MEMS技術在光學領域的應用，以及光子學與微電子學的交叉研究進展。我相信，這本書能夠為我提供一個係統性的知識框架，讓我更好地理解和把握微光機電係統這一新興技術領域的發展脈絡。

评分☆☆☆☆☆

我的職業是從事光學器件的研發，我們一直在探索如何將光學功能做得更小、更集成。當我在書店看到《微光機電係統》這本書時，立刻就被這個標題吸引住瞭。它所涵蓋的“微”、“光”、“機電”這三個關鍵詞，恰恰是我目前工作和研究的焦點。我一直認為，光學、機械和電子的深度融閤，是未來高端儀器和設備發展的重要方嚮。這本書的名字讓我聯想到一些非常先進的技術，比如微型投影儀、微型激光雷達、甚至是一些在生物醫學領域應用的微型光學檢測設備。我迫不及待地想知道，這本書是如何將這些復雜的概念和技術融會貫通的。我希望它能夠詳細介紹微光機電係統（MOMS）的基本構成，包括微型光學元件（如微透鏡、微棱鏡、光柵等）的設計與製造，微型執行器（如微電機、微緻動器）的工作原理，以及微電子控製單元如何與這些部件協同工作。我尤其關注書中關於微型光源、微型探測器以及光信號在微納尺度下的傳播和調製的技術。我還希望這本書能夠提供一些關於MOMS在實際工程應用中的案例分析，比如在通信、顯示、傳感、成像等領域的最新研究成果和發展趨勢。我相信，這本書能夠為我的研究提供寶貴的理論指導和技術參考，幫助我更好地理解和設計下一代的光學器件。

评分☆☆☆☆☆

我是在一個技術論壇上偶然看到有人推薦這本書的，當時討論的話題是如何在微型設備中實現更高級的傳感和控製功能。很多人都提到瞭“微光機電係統”這個概念，並且認為它代錶瞭下一代智能設備的發展方嚮。我一直對機器人技術和自動化係統很感興趣，尤其關注那些可以做到極其微小、極其精確的設備，比如微型手術機器人、微型檢測儀器等。這本書的標題“微光機電係統”正是精準地戳中瞭我的興趣點。我拿到書後，先粗略地翻閱瞭一下，發現它不僅僅是理論的堆砌，還穿插瞭不少實際的案例和應用場景的描述，這對我來說非常重要。我希望能夠通過這本書瞭解，如何將光學器件、微機電係統（MEMS）和電子控製技術融閤在一起，創造齣具有更強功能、更小體積的設備。例如，我一直對微型攝像頭和圖像傳感器很感興趣，希望瞭解它們是如何在如此微小的尺度下實現高分辨率成像的，以及光信號如何被有效地轉化為電信號。這本書的章節設置，似乎也暗示瞭這一點，從基礎的光學原理到具體的器件設計，再到係統集成和應用，一條清晰的學習路徑展現在眼前。我期待這本書能夠詳細介紹各種微納光電器件的設計原理、製造工藝以及性能優化方法。同時，我也想瞭解這些係統在實際中是如何工作的，比如它們是如何響應外界的微小變化，又是如何通過光信號和機械運動來傳遞信息和執行動作的。我相信，這本書能為我打開一個全新的認知維度，讓我對微觀世界的智慧和可能性有更深刻的理解。

评分☆☆☆☆☆

我是一名軟件工程師，但同時對硬件的底層實現和物理原理也抱有極大的興趣，尤其是那些與光學和精密工程相關的領域。我常常在想，現代科技中的許多突破，都離不開對微小事物的精妙操控。當我在書架上看到“微光機電係統”這本書時，這個標題立刻引起瞭我的注意。它涵蓋瞭“微”、“光”、“機電”這三個看似獨立的領域，預示著一個高度集成的技術體係。“微光機電係統”這個概念，在我看來，代錶瞭未來智能化設備的核心發展方嚮，無論是微型傳感器、微型執行器，還是集成化的光學處理單元，都離不開這個技術體係的支撐。我希望這本書能夠清晰地闡述微光機電係統（MOMS）的基本構成原理，包括如何設計和製造微型的光學器件，如何利用微型機械結構實現精確的運動和傳感，以及如何通過微電子電路實現對整個係統的控製。我尤其對書中關於光與物質相互作用的微觀機製、微納光子器件的設計方法，以及MEMS技術在光學領域的創新應用感到好奇。我設想，這本書可能會為我打開一個全新的技術視角，讓我理解那些在肉眼不可見尺度下發生的奇妙物理現象，以及如何將這些現象轉化為實際應用。

评分☆☆☆☆☆

作為一個對微電子技術和精密機械製造充滿好奇的學習者，我一直在尋找能夠將這兩者深度結閤的知識。“微光機電係統”這個書名，在我看來，就像是連接微觀世界和宏觀功能的橋梁。它暗示瞭一種技術，能夠將光學的精妙、機械的精確以及電子的智能巧妙地融閤在一起，創造齣前所未有的設備。我常常想象，那些能夠在微小空間內實現復雜光學操作的設備，會是怎樣的構造和原理。這本書的齣現，讓我覺得我的好奇心將得到極大的滿足。我希望它能夠詳細地介紹微光機電係統（MOMS）的設計理念，包括如何將光學元件、微型機械裝置和微電子電路集成到一個微小的平颱上。我尤其對書中關於微型光學傳感器的部分感到期待，比如如何利用光信號來測量微小的位移、形變、甚至生物分子的濃度。我設想，書中會用大量的插圖和模型來解釋這些復雜的概念，讓即使是初學者也能輕鬆理解。我也希望這本書能介紹一些先進的製造工藝，比如微納加工技術，以及如何通過這些工藝來實現MOMS的批量生産。讀完這本書，我希望能夠對MOMS的整體技術框架、關鍵挑戰以及未來發展方嚮有一個深刻的認識，為我未來的學習和職業規劃提供指引。

评分☆☆☆☆☆

我是一名電子工程專業的學生，在學習過程中，我越來越發現，未來的技術發展趨勢是“小而精”。“微光機電係統”這個書名，就準確地抓住瞭這一核心。它不僅僅是關於微型化，更是關於如何將“光”的能量、“機”的精確、“電”的智能有機地結閤起來，創造齣具有更強大功能的係統。我一直對微型傳感器和微型驅動器很感興趣，想象著它們如何在微小的空間內完成復雜的任務，而“微光機電係統”似乎是將這些可能性提升到瞭一個新的高度。我期待這本書能夠詳細介紹微光機電係統（MOMS）的設計原理，包括如何利用微納光學器件實現光信號的精確控製和探測，如何通過微型機械結構實現精準的運動和傳感，以及如何用微電子電路來驅動和協調整個係統。我尤其對書中關於微型光源、微型成像係統和微型通信模塊的介紹感到好奇。我設想，這本書會為我提供豐富的理論知識和實例分析，幫助我理解這些前沿技術是如何工作的，以及它們在未來科技發展中的重要作用。我希望通過閱讀這本書，能夠對MOMS有一個係統性的認識，為我未來的學習和研究方嚮提供啓發。

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我一直對未來科技的發展趨勢非常關注，特彆是那些能夠 miniaturize 並且提高效率的技術。“微光機電係統”這個書名，聽起來就非常具有前瞻性，仿佛預示著一個微觀世界的無限可能。我一直對光學技術在微型設備中的應用感到好奇，比如如何將光信號的處理和傳輸集成到微小的芯片中，以及如何通過微小的機械結構來控製光路。這本書的齣現，正好滿足瞭我對這方麵的求知欲。我拿到書後，第一眼就被它嚴謹而富有設計感的封麵所吸引，仿佛在訴說著這是一個關於精密、智慧和未來的故事。我期待這本書能夠深入淺齣地講解微光機電係統的基本原理，包括光與物質的相互作用、微型光學元件的設計與製造，以及微型機械部件的集成和控製。我尤其對書中關於光信號的傳感和處理技術感興趣，希望能瞭解如何通過微小的光學傳感器來探測各種物理量，以及如何將這些信息轉化為可用的電信號。我還希望這本書能夠提供一些關於微光機電係統在不同領域應用的案例，比如在通信、醫療、檢測等方麵的最新進展，讓我看到這些技術是如何改變我們的生活的。我設想，這本書可能會包含大量的公式、圖錶和仿真結果，能夠幫助我深入理解那些復雜的物理和工程原理。我希望通過閱讀這本書，能夠為我打開一扇通往微觀技術世界的大門，讓我對未來科技的發展有更清晰的認識。

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我的專業方嚮是材料科學，我一直關注那些能夠利用材料的微觀特性來實現宏觀功能的先進技術。“微光機電係統”這個書名，就仿佛為我打開瞭一扇通往微觀世界奧秘的大門。它暗示著一種將材料科學、光學工程、機械工程和電子工程緊密結閤的技術體係，能夠創造齣具有非凡性能的微型設備。我常常思考，在如此微小的尺度下，材料的物理化學性質如何影響光信號的産生、傳輸和探測，微小的機械結構又是如何通過材料來實現精確的變形和運動。這本書的齣現，正是我探尋這些問題的絕佳機會。我期待它能夠詳細介紹微光機電係統（MOMS）涉及到的關鍵材料，比如用於構建微型光學元件的高摺射率材料、用於製作微型執行器的壓電材料或形狀記憶閤金，以及用於集成電路的半導體材料。我希望書中能夠闡述這些材料的微觀結構、性能特點以及它們在MOMS中的具體應用。同時，我也對書中關於微納加工技術和材料錶徵方法的內容感到好奇，因為這些是實現高性能MOMS的基礎。讀完這本書，我希望能夠對MOMS的材料基礎、設計原理以及潛在應用有一個全麵的瞭解，為我未來的材料研發提供新的思路和方嚮。

评分☆☆☆☆☆

作為一個對精密儀器和傳感技術有著濃厚興趣的學習者，我一直在尋找能夠深入瞭解微納尺度下工作原理的書籍。“微光機電係統”這個書名，就像一個謎語，既有“微”的精緻，“光”的靈動，又有“機電”的嚴謹，充滿瞭吸引力。我常常思考，在如此微小的尺度下，光、機械和電子是如何協同工作，創造齣令人驚嘆的功能的。這本書的到來，仿佛是為我揭開瞭這個謎底。我迫不及待地翻開它，希望它能夠詳細地介紹微光機電係統（MOMS）是如何構建的，包括光路的構建、微型執行器和傳感器的設計，以及它們與微電子控製單元的集成。我尤其對光學傳感部分感興趣，比如如何利用光信號來檢測微小的位移、壓力、溫度甚至是生物分子的存在。我設想，書中會包含大量的圖示和原理示意圖，能夠將那些抽象的光學和力學概念可視化，讓我更容易理解。同時，我也希望這本書能夠介紹一些前沿的製造工藝，比如光刻、刻蝕、薄膜沉積等，這些都是實現微光機電係統必不可少的環節。讀完這本書，我希望能夠對MOMS的整體架構、關鍵技術和潛在應用有一個清晰的認識。我設想，它可能會帶我走進微型光學顯微鏡、微型光譜儀、甚至是微型陀螺儀的世界，讓我看到這些精密設備是如何在肉眼不可見的尺度上完成復雜任務的。

评分☆☆☆☆☆

外国关于微光机电系统的书，作者写的不错，虽然只是打酱油中，感觉还可以。

评分☆☆☆☆☆

很经典的书,帮别人买的

评分☆☆☆☆☆

专业课本，理论。专业课本，理论。专业课本，理论。专业课本，理论。

评分☆☆☆☆☆

原著作者有名，内容丰富，是学习MOEMS很好的入门基础书。建议和英文原版书对照着看，这样更能促进内容的理解。另，期待新版！

评分☆☆☆☆☆

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评分☆☆☆☆☆

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评分☆☆☆☆☆

好

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